X'Pert³ MRD XL

薄膜単結晶解析X線回折装置

長い歴史と高い評価を誇るMalvern Panalyticalの薄膜単結晶解析X線回折装置(MRD)は、X’Pert³ MRD XL世代でも採用されています。 新しいプラットフォームの向上したパフォーマンスと信頼性により、X線散乱法の分析能力と機能を強化し、次の分野に対応しています。

• 最先端材料物性
• 研究ならびに工業用薄膜技術
• 半導体プロセス開発での計量特性評価

X’Pert³ MRD XLは、最大200mmまでの完全なウェハーマッピングにより広範なアプリケーションに対処します。

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機能

X'Pert³ Extended MRD (XL)

X'Pert³ Extended MRD (XL)は、X'Pert³ MRDシステムの範囲に高い汎用性をもたらします。 追加のPreFIX取り付けプラットフォームにより、X線ミラーと高分解能単色光分光器をインラインで取り付けることができ、入射光の散乱強度が大幅に増強します。

データ品質を落とすことなくさまざまなアプリケーションでメリットを得ることができ、高い散乱強度の高分解能X線レーザ回析により、逆空間マッピング測定などの測定時間を短縮し、PreFIXコンセプトにより数分で標準設定から拡張設定に再構築できます。 第2世代のPreFIXにより、簡単に再設定し、光学装置の位置をこれまでになく正確に決定できます。

X'Pert³ MRD (XL) In-plane

X'Pert³ MRD (XL)システムをIn-Plane回折に組み込むことで、サンプル表面に対して平行な格子面からの回折を測定できるようになります。

また、1つのシステムで標準配置とIn-Plane配置の分析が可能であるため、多結晶薄膜や単結晶薄膜でさまざまな回折測定を行うことができます。これらは、多数の利点の中の一部にすぎません。 

仕様

将来のニーズに対応する優れたシステムの柔軟性

X'Pert³ MRDシステムは、研究からプロセス開発やプロセス管理に至るまで、高度で革新的なX線回折ソリューションを提供します。 使用されている技術により、すべてのシステムフィールドを既存のすべてのオプションと、今後のハードウェアとソフトウェの新しい機能に対応するようアップグレードできるようになります。

アクセサリ

検出器

PIXcel3D

0D-1D-2Dおよび3Dデータを回析計に取り込む最初の検出器

PIXcel3Dは、独自の2D固体ハイブリッドピクセル検出器です。 各ピクセルは、55 ミクロン x 55 ミクロンで、検出器アレイは256 x 256 ピクセルです。 現在、Medipix3テクノロジーに基づく検出器は、1ピクセルの点像分布関数と、複数のエネルギー識別レベルにより、卓越した信号をノイズにもたらします。

General

X’Pert³ MRD XLクリーンルームパッケージ

測定環境が増えても、追加投資は最小限に抑えられます

X'Pert3 MRD XLクリーンルームパッケージは、ファンフィルターユニットなど、既存の機器に後付けしたり、新しい機器に追加したりできる、MRD XL用のスマートソリューションで構成されています。

MRD XLクリーンルームパッケージは、半導体ウェーハサンプルの周囲の空気をフィルタリングして、分析時の汚染を防止します。これにより、新しい機器に投資することなく、幅広い環境で測定することができます。

X’Pert³ MRD XL Automation

A fully automated solution for complex layer stack metrology

As an additional software solution for our X’Pert3 MRD XL tool, automation can be integrated into your existing instrument to provide SECS/GEM compliant host control.

With these new capabilities, the MRD XL system can now play out its modularity and flexibility in a host controlled fab environment. This enables ensuring a contamination-free research or production environment. 

設備

投資利益率を最大限にする
ソリューション

お客様の装置が最高の状態を保ち、最高レベルで機能するために、
Malvern Panalyticalではさまざまなサービスを提供しています。 当社の専門知識とサポートサービスは、
装置が最適に機能するよう保証します。

サポート

ご使用中のサービス 
• 電話とリモートサポート 
• 予防メンテナンスと点検
• 柔軟なカスタマーケア契約 
• パフォーマンス認証
• ハードウェアおよびソフトウェアアップグレード 
• ローカルおよびグローバルサポート

専門知識

工程に価値を付加する
• サンプルプレパレーション法の開発/最適化
• 分析方法論 
• XRD用ターンキーソリューション 

• IQ/OQ/PQによるオペレーション、品質保証(GLP、ISO17025)、またはラウンドロビン/研究所間の連携 
• ラボ工程の自動化 
• コンサルティングサービス

トレーニングと教育

• オンサイトまたは当社の研修センターでのトレーニング
• 製品、アプリケーションおよびソフトウェに関する広範な基本コースおよび上級コース

分析サービスとキャリブレーション材料

• 専門家による(XRF)分析サービス
• 酸化物と微量元素の分析 

• カスタマイズされた校正用材料