X'Pert³ MRD
X'Pert™ MRD システムは、研究からプロセス開発、プロセス制御まで、高度で革新的な X 線回折ソリューションを提供します。
特徴としては以下が挙げられます
- ウェハ最大直径：100mm
- SECS/GEM
- クリーンルーム ISO 4
X'Pert³シリーズ
多目的研究開発用 XRD システム
多目的研究開発用 XRD システム
評価を得ているX'Pertプラットフォームが、Malvern PanalyticalのX'Pert³シリーズのX線回折システムでも採用されています。 新しい制御回路を搭載し、最新の最も厳格なX線基準と安全基準に準拠し、環境に配慮し高い信頼性を誇るX'Pert³プラットフォームが用意されています。
• 最長の耐用期間を誇るCRISPを搭載した入射光コンポーネント
• エアー式シャッターとビームアッテネータによる最大稼働時間
• 第2世代PreFIX技術により新しいアプリケーションに簡単に拡張
• 迅速で信頼性が高く、ツール不要な管球フォーカスの変更
• インターネットに直接接続できる新しい制御回路
• 最も厳格な安全規制に準拠
X'Pert™ MRD システムは、研究からプロセス開発、プロセス制御まで、高度で革新的な X 線回折ソリューションを提供します。
特徴としては以下が挙げられます
追加の PreFIX 取り付けプラットフォームにより、X 線ミラーと高解像度モノクロメーターをインラインで取り付けることができ、入射ビームの強度が大幅に増加します。
特徴としては以下が挙げられます
多目的研究開発XRDシステム
薄膜単結晶解析X線回折装置
