X'Pert³ MRD XL Automation

概要

MRD XL Automationは、当社の最先端のウェーハ分析装置にSECS/GEM機能を搭載し、これまで以上に迅速かつクリーンで効率的な半導体処理を可能にします。SECS/GEMプロトコルでホストコンピュータと定期的に双方向通信を行うことで、ウェーハの選択から測定、結果配信まで、ウェーハ解析の全工程を自動化することが可能です。

より迅速で効率的な分析に加え、完全自動化されたプロセスによって、人手を介する作業が不要となります。ウェハー分析では、人間が主な汚染要因となるため、この機能は、よりクリーンな研究・生産環境を確保する上で大きなメリットとなります。

特長と利点

高度な自動車機能

完全にカスタマイズ可能なオプション

未来を見据えた機能

モジュラアプローチ

長い耐用年数

• 高度な自動車機能
  MRD XL Automationソフトウェアを使用すると、ウェーハ分析プロセスの完全自動化が可能となり、ヒトがによる関与する作業がなくなります
  
  
• フルカスタマイズ可能なオプション
  MRD XL Automationソフトウェアはフルカスタマイズ可能な枠組みを備えているため、ニーズに合わせた構成の調整が可能です
  
  
• 未来を見据えた機能
  MRD XLオートメーションは、半導体の技術革新の最先端を行くオートメーションであるため、業界の急速な成長に対応したオペレーションを可能にします。
  
  
• モジュラアプローチ
  X’Pert³ MRD XLはモジュラシステムです。複数のツールと機能を利用できるため、企業のニーズに合わせて簡単に構成できます。このオールインワンアプローチを使えば、新しい機器に投資する必要はありません
  
  
• 長い耐用年数
  MRD XLは、最高品質のサービスとサポートを提供しています。そして今後ともお客様の業務とともに成長していきます。
  

サービス

お客様の楽器が常に最高のコンディションで、最高のパフォーマンスを発揮できるように、私たちはさまざまなサービスを提供しています。当社のサービスエンジニアによるグローバルなカスタマーサポートネットワークにより、当社はいつでもアドバイス、テクニカルサポートを提供しています。どうぞお気軽にお問い合わせください!

• 現場でのパーツの交換と調整
• グローバルなカスタマーサポートネットワーク