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薄膜測定

X線薄膜解析

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薄膜測定

X線測定は、異なる種類の層構造LEDなどの開発、大量生産において薄膜解析を行うのに最適なツールです。 

X線計測技術は、新しいレイヤーベースのアプリケーションと技術の開発を通じて、業界の進歩に追いついてきました。 

これらの技術は、半導体デバイスの研究開発段階からパイロット生産、そして本格的な自動製造に至るまで不可欠なツールとして機能し続けます。

薄膜解析ソリューション

XRD、XRR、およびXRFのような、X線方式に基づいた測定ツールは、極薄の単層スタックから複雑な多層スタックまでの重要な薄膜パラメータへの、迅速で非破壊的かつ信頼性のある正確なアクセスが提供されることが実証されています。

当社の薄膜解析装置の詳細については、以下をご覧ください。

当社の製品の比較

  • Zetium

    高性能床置き型 WDXRF 分光計

    Zetium

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
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  • Axios FAST

    高スループット同時 WDXRF 分光計

    Axios FAST

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
    詳細 見積依頼

  • 2830 ZT

    先進の半導体薄膜測定ソリューション

    2830 ZT

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
    詳細 見積依頼

  • Epsilon 4

    高速で正確なアットラインの元素分析

    Epsilon 4

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
    詳細 見積依頼

  • X'Pert³ MRD

    多目的研究開発XRDシステム

    X'Pert³ MRD

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
    詳細 見積依頼

  • X'Pert³ MRD XL

    薄膜単結晶解析X線回折装置

    X'Pert³ MRD XL

    測定タイプ

    • 薄膜測定

    技術

    • 波長分散型蛍光X線
    • XRD分析
    • エネルギー分散型X線分析
    詳細 見積依頼