薄膜測定

X線測定は、異なる種類の層構造LEDなどの開発、大量生産において薄膜解析を行うのに最適なツールです。 XRD、XRR、およびXRFのような、X線方式に基づいた測定ツールは、極薄の単層スタックから複雑な多層スタックまでの重要な薄膜パラメータへの、迅速で非破壊的かつ信頼性のある正確なアクセスが提供されることが実証されています。

X線測定技術は、新たな層ベースのアプリケーションと技術の開発を通じて業界の進歩に追随し、R&D段階から試験生産、半導体機器のフルスケール自動生産まで、欠かせないツールとして機能してきました。