X線結晶方位測定装置 Crystal Orientation 製品

高速・高精度結晶方位測定

X線結晶方位測定装置 Crystal Orientation 製品

当社の結晶方位ソリューションは、ブール、インゴット、パック、ウェーハの用途を念頭に置いて設計されています。当社の製品は、さまざまな環境でシンプルかつ超高速の結晶方位測定を実現します。

完全に自動化されたオンライン分析から迅速な品質チェックまで、マルバーン・パナリティカルのX線結晶方位測定装置が対応します。

当社の製品の比較

  • X線結晶方位測定装置 DDCOM

    コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現

    X線結晶方位測定装置 DDCOM
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • ベンチトップ
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 1mA

    冷却システム

    • 空冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • いいえ
    • ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質)
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • 10秒以上
  • SDCOM

    コンパクトなパッケージで超高速な上面結晶方位測定を実現

    SDCOM
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • ベンチトップ
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 1mA

    冷却システム

    • 空冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • ブールの場合はオプション
    • ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質)
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • 高さ調節時間 + 10秒
  • Omega/Theta

    超高速結晶方位を実現する完全自動試料水平3軸X線回折装置

    Omega/Theta
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • 床置き
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 10mA

    冷却システム

    • 水冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • ブールの場合はオプション
    • ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質)
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • 高さ調節時間 + 10秒
  • Wafer XRD 200

    ウェーハの方位測定と選別のための高速、高精度、完全装備のソリューション

    Wafer XRD 200
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • 床置き
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 1mA

    冷却システム

    • 空冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • 光学ジオメトリー認識
    • ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質)
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • ウェーハ25枚あたり10分
  • Wafer XRD 300

    統合可能なウェーハ方位ソリューション

    Wafer XRD 300
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • 床置き
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 1mA

    冷却システム

    • 水冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • 光学ジオメトリー認識
    • ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質)
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • --
  • XRD-OEM

    完全に自動化されたインライン方向とインゴット、ブール、パックの処理

    XRD-OEM
    • XRD分析
    • 結晶方位

    システムタイプ

    • 測定ヘッド
    • マッピングステージ
    • 研磨ステージ
    • スタッキングステージ

    管球出力

    • 30kV / 1mA

    冷却システム

    • 空冷
    • マーキング

    光学ジオメトリー認識

    • 近日中に対応
    • 該当なし
    • Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ)

    スループット速度

    • 装置による