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Omega/Thetaは、結晶格子を決定するために、精度と速度の究極の組み合わせを提供します。バーコードリーダーからマッピングテーブル、結晶スタッキングフレームまで、多くのプロセスアクセサリを備えています。Omega/Thetaは、結晶方位を検出して、次の処理ステップに移行するための信頼できるパートナーです。
Omega/Thetaは、急速に進化する半導体を取り巻く状況において、結晶方位を決定するための、信頼性と将来性を兼ね備えたパートナーです。市場をリードする高精度かつ超高速の測定とハイエンドのビルド品質が自動化機能と組み合わされて、産業用途と研究用途において結晶方位と配列に対して比類のない効率と精度を実現します。
方位角スキャン方式では、1回の測定回転だけで、方位を完全に決定するために必要なデータをすべて収集できます。精度を損なうことなく10秒以内に結果が得られます。
サンプルを360°回転させ、X線源と検出器を1回転あたり一定数の反射が得られるように配置します。この反射により、回転軸に対する結晶格子の方位を最高0.003°という高精度で測定することができます。
Omega/Theta のすべての測定は自動化されており、使いやすいXRDソフトウェアで管理されます。ルーチンワークフローに既製の簡単なレシピベースの測定を提供します。
この装置は、さまざまなMES、SECS/GEM、および同様のインターフェースを使用して、生産環境の既存のプロセスに簡単に統合できます。
Omega/Theta は、あらゆる単結晶材料の特性評価に使用できます。一般的に使用される材料の例:
当社の幅広いアクセサリは、シードボーリングからブールの研磨、スライス、ウェーハの端部制御にいたるまで、さまざまな用途でOmega/Thetaの生産性を向上させ、時間の経過とともにニーズが変化する場合でも柔軟に対応します。
Omega/Thetaは、大規模なインゴットから小さなプレートまで、あらゆるニーズに特化した試料ホルダを備えており、幅広いサンプルサイズに対応し、生産と研究の両方に価値を付加します。
Omega/Theta は、大規模なインゴットから小さなシリンダーまで、あらゆるニーズに対応するようにカスタマイズされた試料ホルダを備えており、幅広いサンプルサイズに対応し、研究と同様に生産ワークフローでも簡単に使用できます。
Omega/Thetaはメーカー向けに設計されています。製造中のさまざまな結晶の超高速方位測定と位置合わせ、面内方向のマーキング、フラットやノッチの方位確認に最適です。また、高いスループット速度と自動化機能により、生産品質管理にも最適です。
切断前にインゴットの位置合わせを行うためのスタッキングステージや、品質測定用のロッキングカーブツールなどのオプションの追加機能を使用することで、Omega/Thetaは、生産用途に適した汎用性の高いパートナーになります。
Omega/Thetaの高い精度と柔軟性は、材料研究に最適です。最大重量30 kg、最大長さ450 mmまでのさまざまなサンプルを収容でき、より大きなサンプルや複雑なサンプルに対応できるよう、追加のステージもご用意があります。
さまざまな材料の特性評価が可能なため、研究開発プロセスに極めて有効です。柔軟性の高いTheta Scanが、測定の可能性を広げます。
| X-ray generator | 標準X線管、Cuアノード
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| 検出器 | シンチレーションカウンター(シングルまたはダブル)
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| Sample holders | サンプル調整用の精密ターンテーブル、取り付けプレート、ツール
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| Crystal collimator | 空き領域 |
| Mapping | 強固なマッピングステージが利用可能
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| ソフトウェア | XRDStudio |
| Water cooling | 流量 – 4L/分、最大圧力8 bar、T≤30 °C
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| コンピューター | Windows 7以降、.NET Frameworkの更新
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| 寸法 | H 1950 mm × D 820 mm × W 1200 mm |
| 重量 | ca, 650 kg |
| 電源 | 208～240 V、16 A単相、50～60 Hz
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| 認証 | ISO 9001ガイドラインに基づいて製造、CE準拠
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