X'Pert³ MRD
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
- Wafer max. diameter: 100 mm
- SECS/GEM
- Cleanroom ISO 4
X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
Find out more評価を得ているX'Pertプラットフォームが、Malvern PanalyticalのX'Pert³シリーズのX線回折システムでも採用されています。 新しい制御回路を搭載し、最新の最も厳格なX線基準と安全基準に準拠し、環境に配慮し高い信頼性を誇るX'Pert³プラットフォームが用意されています。
• 最長の耐用期間を誇るCRISPを搭載した入射光コンポーネント
• エアー式シャッターとビームアッテネータによる最大稼働時間
• 第2世代PreFIX技術により新しいアプリケーションに簡単に拡張
• 迅速で信頼性が高く、ツール不要な管球フォーカスの変更
• インターネットに直接接続できる新しい制御回路
• 最も厳格な安全規制に準拠
The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.
Features include
An extra PreFIX mounting platform allows mounting of an X-ray mirror and a high-resolution monochromator in-line, increasing significantly the intensity of the incident beam.
Features include
X'Pert³ MRD多目的研究開発XRDシステム |
X'Pert³ MRD XL薄膜単結晶解析X線回折装置 |
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技術 | ||
XRD分析 | ||
測定タイプ | ||
相同定 | ||
位相の定量化 | ||
薄膜測定 | ||
残留応力 | ||
界面粗さ | ||
エピタキシー分析 | ||
配向分析 | ||
逆格子空間解析 | ||
Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
SECS/GEM | ||
Cleanroom ISO 4 |