Wafer Analyse WD XRF

Lösungen zur Leistungsanalyse von Halbleiterbauelementen

In der sich schnell verändernden Technologiewelt kommen und gehen Trends. Videokassetten, Compact Discs, Autotelefone und Walkmen waren einst bahnbrechend, wurden aber durch ausgeklügeltere Ingenieurskunst ersetzt.

Dennoch gibt es einen technologischen Trend, der sich im Laufe der Zeit nicht verändert hat: die Größe. Auch im Jahr 2022 gilt, wie in jedem Jahr zuvor, dass ‚kleiner besser ist‘.

Herausforderungen der Halbleiterbranche

Doch kleiner werden bedeutet auch komplexer werden. Immer kleineren Geräten und Bauteilen muss mehr technische Leistung entlockt werden. Dieses Muster zeigt sich klar auf dem heutigen Halbleitermarkt. Um den sich wandelnden Anforderungen in den Bereichen Automobil, Computer und Datenspeicherung gerecht zu werden, müssen Hersteller kompaktere und zugleich komplexere Geräte entwickeln.

Kleinere Technologie, höhere Anforderungen

Während die Halbleiterschichten stetig dünner und komplexer werden, werden auch die Messmethoden wie die Röntgenmetrologie anspruchsvoller. Die Steigerung der Genauigkeit hat höchste Priorität und es sind innovative Lösungen erforderlich, um beständig zuverlässige Ergebnisse zu erzielen.

Die Halbleiterindustrie steht vor verschiedenen Herausforderungen bei der XRF-Wafermetrologie, darunter verschiedene Substrate, Schwankungen zwischen Geräten und Fabriken sowie immer dünnere Schichten, einschließlich 2D-Materialien. Die Konsistenz von Halbleitermessgeräten, die automatische Qualitätsüberwachung und die Empfindlichkeit sind wichtige Überlegungen. Doch wie können diese Herausforderungen gemeistert werden und die Fabriken auf die Zukunft der Industrie vorbereitet werden?

2830 ZT Waferanalysator

Der 2830 ZT Waferanalysator ist ein wellenlängendispersiver Röntgenfluoreszenzspektrometer (WDXRF) und die beste Lösung zur Messung von Filmdicke und -zusammensetzung. Er löst alle oben genannten industriellen Herausforderungen.

Er bietet XRF-Analysen im Bereich von 0,2 nm bis 10 μm und verarbeitet flache Substrate bis zu einem Durchmesser von 300 mm. Der 2830 ZT ist vollständig automatisiert, erfüllt Reinraumbedingungen und ist die stabilste Lösung für Fabriken.

Bemühungen um kontinuierliche Optimierung

Malvern Panalytical ist bereit, diejenigen zu unterstützen, die in der Halbleiterindustrie tätig sind. Wir engagieren uns ständig für die Verbesserung von Geräten und die Entwicklung innovativer Technologien. Unabhängig davon, wie lange der Mangel an Mikrochips andauert, werden wir die neuesten Lösungen für eine Branche bereithalten, die keine Zeit zu verlieren hat.

Weitere Informationen

Einführungsvideo zu Halbleiterlösungen

Malvern Panalytical Future Days: Fokus auf Halbleiter