Gerät für Wafer-Mapping
Optionales Zusatzgerät für Untersuchung und Mapping der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen.
Übersicht
Ultraschnelle, präzise Kristallausrichtung (bis zu 1/100o) auf Knopfdruck. Das DDCOM erfasst zuverlässige Ergebnisse über 100-mal schneller als herkömmliche Methoden und bietet eine zusätzliche Zeitersparnis durch die Top-down-Messgeometrie. Dieses äußerst vielseitige Gerät verfügt über eine luftgekühlte Röntgenröhre und ein mobiles Design, um niedrigere Betriebskosten und maximalen Komfort zu gewährleisten. Es eignet sich ideal für Qualitätskontrollen, Markierungen und Forschungsanwendungen.
Leistungsmerkmale und Vorteile
Ultraschnelle Genauigkeit
Unsere proprietäre Scanmethode erfordert nur eine Scanrotation, um alle erforderlichen Daten für die Bestimmung der Kristallausrichtung zu erfassen und präzise Ergebnisse in nur wenigen Sekunden (Einzelrotation) zu liefern.
Die materialspezifische Gerätegeometrie ermöglicht es, die Ausrichtung des Kristallgitters im Verhältnis zur Rotationsachse ultraschnell zu messen, wobei die Präzision mit der Anzahl der Scan-Rotationen steigt.
Kompaktes, benutzerfreundliches Format
Dank der kompakten Bauweise des DDCOM passt das System in jede Umgebung. Die Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.
Präzise, effiziente Kontrolle
Behalten Sie die Kontrolle über Schneid-, Pulverisier- und Läppprozesse mit hoher Präzision von bis zu 1/100o. Das DDCOM liefert die vollständige Gitterausrichtung von Einzelkristallen und ist für die Azimut-Einstellung und -Markierung der Kristallausrichtung konzipiert.
Vorprogrammierte Kristallparameter ermöglichen die Bestimmung beliebiger unbekannter Ausrichtungen verschiedener Strukturen und helfen bei der Optimierung des Arbeitsablaufs für mehr Effizienz. Verschiedene Tischzubehörteile machen die Messtechnik in verschiedenen Prozessschritten möglich.
Vielseitig und kostengünstig
Das DDCOM ist sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsumgebungen, in denen eine Reihe von Probentypen analysiert werden müssen, bestens geeignet. Dank des geringen Energieverbrauchs und der luftgekühlten Röntgenröhre sind die Betriebskosten des DDCOM niedrig – es ist keine Wasserkühlung erforderlich.
Das Gerät kann eine Reihe verschiedener Materialien mit unterschiedlichen Strukturen messen und ist somit eine vielseitige Ergänzung für jedes Labor. Beispiele für messbare Materialien:
- Kubisch, mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Kubisch, mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal und trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (Quarz), Al2O3 (Saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Orthorhombisch: Mg2SiO4, NdGaO3
Wichtigste Anwendungen
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- Kontrolle der Kristallausrichtung beim Schneiden, Pulverisieren und Läppen
- Dank der kleinen Stellfläche, der Automatisierungsfunktionen und der hohen Messgeschwindigkeit bietet das DDCOM XRD eine komfortable und benutzerfreundliche Methode zur Messung der Kristallausrichtung und ermöglicht so eine präzise und effiziente Steuerung von Schneid-, Pulverisier- und Läppprozessen.
- Einstellung und Markierung der Kristallausrichtung
- Das DDCOM ist für die Azimut-Einstellung und -Markierung der Kristallausrichtung ausgestattet. Die Wafer-Markierung basiert auf ausgezeichneter Präzision und schneller Überwachung, und das DDCOM liefert die Geschwindigkeit und Präzision, die Sie bei Ihren Prozessen benötigen. Das System ist leicht und mobil und lässt sich problemlos in Ihre bestehende Einrichtung oder als Teil eines neuen Prozesses integrieren.
- Qualitätskontrolle
- Messgeschwindigkeit und Durchlaufzeit sind bei der Qualitätskontrolle in der Produktion entscheidend, aber auch bei Routinemessungen ist es wichtig, die Betriebskosten niedrig zu halten. Das DDCOM ist aufgrund der Top-down-Messgeometrie nicht nur effizient, was Durchsatz und Produktivität angeht, sondern auch beim Energieverbrauch. So bleiben Ihre Kosten niedrig, und Ihre Prozesse werden optimal ausgeführt – ohne Kompromisse bei der Qualität.
- Materialforschung
- Das DDCOM kann im Labor eine Vielzahl von Kristalltypen auf kleinem Raum messen und eignet sich ideal für Standardarbeitsabläufe in der Forschung. Die Betriebskosten werden durch minimalen Energieverbrauch und eine luftgekühlte Röntgenröhre ohne Bedarf an Wasserkühlung niedrig gehalten. Das DDCOM ist auch für eine Reihe von Erfahrungsniveaus zugänglich und einfach zu bedienen. Somit ist es eine praktische Lösung für Forschungslabors.
Spezifikation
| Technische Spezifikationen | |
|---|---|
| Röntgenquelle | Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode |
| Detektoren | Zwei Szintillationszähler |
| Probenhalter | Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, Werkzeuge für definierte Probenpositionierung und -markierung |
| Physische Spezifikationen | |
| Abmessungen | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
| Gewicht | 80 kg |
| Stromversorgung | 100–230 V, 500 W, einphasig |
| Raumtemperatur | ≤ 30° C |
| Konfigurationsmöglichkeiten | |
| Gerät für das Mapping von Wafern (maximaler Durchmesser 225 mm) | |
| Gerät zum automatischen Laden von Kassetten | |
| Beispiele für messbare Materialien | |
| Kubisch/mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
| Kubisch/mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
| Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
| Hexagonal/trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (sapphire), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
| Orthorhombisch: Mg2SiO4, NdGaO3 | |
| Weitere Materialien je nach Kundenanforderungen | |
Zubehör
Automatisches Laden aus der Kassette
Ein zusätzliches Werkzeug zum automatisierten Laden von Proben aus einer Kassette verkürzt die Durchlaufzeit und verbessert die Effizienz des Arbeitsablaufs.
Support
Support-Services
- Hilfe am Telefon und Fernwartung
- Präventive Wartung und Checkups
- Flexible Kundendienstverträge
- Leistungszertifikate
- Software- und Hardware-Upgrades
- Lokaler und globaler Support
Know-how
- Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
- Automatisierung und Beratung
- Schulung und Weiterbildung
