DDCOM

Ultraschnelle Messung der Kristallausrichtung an der Bodenoberfläche in einem kompakten Gehäuse

  • Präzise Vollkristallausrichtung in Sekundenschnelle
  • Niedriger Energieverbrauch und Betriebskosten
  • Hohe Präzision bis 0,01°

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Übersicht

Bestimmen Sie mit unserer effizienten und genauen Methode die vollständige Kristallausrichtung binnen Sekunden. Aufgrund des niedrigen Energieverbrauchs und der niedrigen Betriebskosten eignet sich das DDCOM ideal für Forschungs- und Industrieanwendungen.

Ultraschnelle, präzise Kristallausrichtung (bis zu 1/100o) auf Knopfdruck. Das DDCOM erfasst zuverlässige Ergebnisse über 100-mal schneller als herkömmliche Methoden und bietet eine zusätzliche Zeitersparnis durch die Bottom-up-Messgeometrie. 

Dieses äußerst vielseitige Gerät verfügt über eine luftgekühlte Röntgenröhre und ein mobiles Design, um niedrigere Betriebskosten und maximalen Komfort zu gewährleisten.

Leistungsmerkmale

  • Schnell und präzise

    Diese Methode erfordert nur eine Scanrotation, um alle erforderlichen Daten für die Bestimmung der Kristallausrichtung zu erfassen. Die Messung der Rotationsachse erhöht den Durchsatz und liefert in nur wenigen Sekunden präzise Ergebnisse.

  • Kompaktes, benutzerfreundliches Format

    Dank der kompakten Bauweise des DDCOM passt das System in jede Umgebung. Die Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.

  • Präzise, effiziente Kontrolle

    Behalten Sie die Kontrolle über Schneid-, Pulverisier- und Läppprozesse mit hoher Präzision von bis zu 1/100o. Das DDCOM liefert die vollständige Gitterausrichtung von Einzelkristallen. Durch die vorprogrammierten Kristallparameter kann das Gerät die beliebige unbekannte Ausrichtung verschiedener Strukturen bestimmen. Die Funktion für die Azimut-Einstellung bietet in Verbindung mit der Markierung der Kristallausrichtung Unterstützung bei der Verfeinerung des Arbeitsablaufs und erhöht so die Effizienz.

  • Vielseitig und kostengünstig

    Das DDCOM ist sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsumgebungen, in denen eine Reihe von Probentypen analysiert werden müssen, bestens geeignet. Dank des geringen Energieverbrauchs und der luftgekühlten Röntgenröhre sind die Betriebskosten des DDCOM niedrig – es ist keine Wasserkühlung erforderlich.

Messbare Materialien

Das Gerät kann eine Reihe verschiedener Materialien mit unterschiedlichen Strukturen messen und bietet so Flexibilität für jedes Labor. Beispiele für messbare Materialien:

  • Kubisch, mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • Kubisch, mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • Hexagonal und trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (Quarz), Al2O3 (Saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • Orthorhombisch: Mg2SiO4, NdGaO

Wichtigste Anwendungen

Kontrolle der Kristallausrichtung beim Schneiden, Pulverisieren und Läppen
Dank der kleinen Stellfläche, der Automatisierungsfunktionen und der hohen Messgeschwindigkeit bietet das DDCOM XRD eine komfortable und benutzerfreundliche Methode zur Messung der Kristallausrichtung und ermöglicht so eine präzise und effiziente Steuerung von Schneid-, Pulverisier- und Läppprozessen.
Einstellung und Markierung der Kristallausrichtung
Das DDCOM ist für die Azimut-Einstellung und -Markierung der Kristallausrichtung ausgestattet. Die Wafer-Markierung basiert auf ausgezeichneter Präzision und schneller Überwachung, und das DDCOM liefert die Geschwindigkeit und Präzision, die Sie bei Ihren Prozessen benötigen. Das System ist leicht und mobil und lässt sich problemlos in Ihre bestehende Einrichtung oder als Teil eines neuen Prozesses integrieren.
Qualitätskontrolle
Messgeschwindigkeit und Durchlaufzeit sind bei der Qualitätskontrolle in der Produktion entscheidend, aber auch bei Routinemessungen ist es wichtig, die Betriebskosten niedrig zu halten. Das DDCOM ist aufgrund der Top-down-Messgeometrie nicht nur effizient, was Durchsatz und Produktivität angeht, sondern auch beim Energieverbrauch. So bleiben Ihre Kosten niedrig, und Ihre Prozesse werden optimal ausgeführt – ohne Kompromisse bei der Qualität.
Materialforschung
Das DDCOM kann im Labor eine Vielzahl von Kristalltypen auf kleinem Raum messen und eignet sich ideal für Standardarbeitsabläufe in der Forschung. Die Betriebskosten werden durch minimalen Energieverbrauch und eine luftgekühlte Röntgenröhre ohne Bedarf an Wasserkühlung niedrig gehalten. Das DDCOM ist auch für eine Reihe von Erfahrungsniveaus zugänglich und einfach zu bedienen. Somit ist es eine praktische Lösung für Forschungslabors.

Spezifikation

Technische Spezifikationen

X-ray generator
Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode
Detektor
Zwei Szintillationszähler
Sample holders
Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, Werkzeuge für definierte Probenpositionierung und -markierung

Physische Spezifikationen

Abmessungen
600 mm × 600 mm × 850 mm
Gewicht
80 kg
Versorgung
100–230 V, 500 W, einphasig
Raumtemperatur
≤ 30° C

Konfigurationsmöglichkeiten

Optionen
Gerät für das Mapping von Wafern (maximaler Durchmesser 225 mm)
Gerät zum automatischen Laden von Kassetten

Beispiele für messbare Materialien

Material
Kubisch/mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF 2
Kubisch/mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl 2 O 4 , SrTiO 3 , LaTiO 3
Tetragonal: MgF 2 , TiO 2 , SrLaAlO 4
Hexagonal/trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO 3 , SiO 2 (quartz), Al 2 O 3 (sapphire), GaPO 4 , La 3 Ga 5 SiO 14
Orthorhombisch: Mg 2 SiO 4 , NdGaO 3
Weitere Materialien je nach Kundenanforderungen

Zubehör

Verbessern Sie Ihren Workflow

Gerät für Wafer-Mapping

Optionales Zusatzgerät für Untersuchung und Mapping der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen.

Automatisches Laden aus der Kassette

Ein zusätzliches Werkzeug zum automatisierten Laden von Proben aus einer Kassette verkürzt die Durchlaufzeit und verbessert die Effizienz des Arbeitsablaufs.

Benutzerhandbücher

Software-Downloads

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Support

Support-Services 

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
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  • Software- und Hardware-Upgrades
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Know-how

  • Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
  • Automatisierung und Beratung
  • Schulung und Weiterbildung
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