Schnelle, präzise Kristallorientierung
Ein Kristall besteht aus einem sich wiederholenden Muster von Atomen. Das bedeutet, dass sich die Struktur eines Kristalls aus der Perspektive eines Elektrons/Photons, das in einen Kristall eindringt, je nach dem Winkel, in dem wir in diesen Kristall blicken, ändert. Wir könnten einen Kanal sehen, der sich durch das gesamte Kristallmaterial erstreckt, oder nur die oberen drei Schichten des Materials. Daher können die Materialeigenschaften je nach Winkel sehr unterschiedlich sein. Eine gute Kontrolle der Materialeigenschaften erfordert eine gute Kontrolle der Kristallausrichtung.
Dies ist ein wichtiger Prozess bei der Ionenimplantation, Lithographie und Epitaxie, aber auch bei der Herstellung von Laser- oder optischen Komponenten.
Die Produktpalette für Kristallausrichtung basiert auf dem Azimut-Scan. Dies ist eine intelligente Technologie für die geometrische Messung der Ausrichtung von Kristallen. Das bedeutet, dass nicht nur die Neigung der Hauptachse, sondern auch alle ebenen Richtungen in nur 10 Sekunden erfasst werden können. Mit den Geräten kann fast jede Form gemessen werden, solange es sich dabei um einen einzelnen Kristall handelt, wie z. B. Wafer, Barren, Säulen, Pucks usw.
Unsere hochpräzisen Kristallausrichtungssysteme sind besonders für industrielle Anwendungen wie die Herstellung von Einzelkristallen oder Wafern, für Forschungszwecke, aber auch für die Qualitätskontrolle der Wafer und anderer Geräte entwickelt worden.
Sie bieten einfache und schnelle Messungen der Kristallausrichtung, sodass die gewünschten Eigenschaften für die nächsten Verarbeitungsschritte zur Verfügung stehen.
Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package
Zu den Funktionen gehören
Ultra-fast, flexible, top surface measuring crystal orientation in a compact package
Zu den Funktionen gehören
Fully automated vertical three-axis X-ray diffractometer for ultra-fast crystal orientation
Zu den Funktionen gehören
Fast, precise and fully equipped solution for wafer orientation and sorting
Zu den Funktionen gehören
Integratable wafer orientation solution
Zu den Funktionen gehören
Fully automated in-line orientation and handling of ingots, boules, and pucks
Zu den Funktionen gehören
Ultraschnelle Messung der Kristallausrichtung an der Bodenoberfläche in einem kompakten Gehäuse
Ultraschnelle Messung der Oberseite für die Kristallausrichtung in einem kompakten Gehäuse
Vollautomatisches vertikales Drei-Achsen-Röntgendiffraktometer für ultraschnelle Kristallausrichtung
Schnelle, präzise und vollständig ausgestattete Lösung für die Wafer-Ausrichtung und -Sortierung
Ihre integrierbare Wafer-Ausrichtungslösung
Vollautomatische Inline-Ausrichtung und Handhabung von Barren, Säulen und Pucks
