Probenhalter
Für SDCOM sind verschiedene Probenhalter erhältlich, mit denen Sie kleinere, größere oder unregelmäßige Proben problemlos verarbeiten können.
Das SDCOM kann Kristalle ab einer Größe von 1 mm messen und verwendet die Azimut-Scanmethode, um die vollständige Gitterausrichtung einzelner Kristalle mit nur einer Messrotation in nur wenigen Sekunden präzise zu bestimmen. Das vielseitige und zugängliche SDCOM eignet sich sowohl für die Qualitätskontrolle in der Forschung als auch in der Produktion und eignet sich problemlos für eine Vielzahl von Wafer- und Barren-Prozessschritten und erfordert keine Wasserkühlung.
Broschüre herunterladenEine schnelle und präzise Messung der Kristallausrichtung war noch nie so einfach. Lernen Sie SDCOM kennen – Ihr benutzerfreundliches und kompaktes XRD. Mit der Azimut-Scanmethode können Sie ultraschnelle Messung durchführen und erhalten Ergebnisse in weniger als fünf Sekunden.
SDCOM bietet ein Höchstmaß an Präzision von bis zu 0,01o mit einer Vielzahl von Probenhaltern und Transfervorrichtungen, einschließlich einer Markierungsoption für die laterale Kristallrichtung und ist eine benutzerfreundlichem kompakte Einheit und die ideale Lösung für viele Anwendungen in der Wafer-Verarbeitung und -Forschung.
Die Azimut-Scanmethode benötigt nur einen Messkreis, um alle notwendigen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu sammeln. Dadurch wird eine hohe Präzision bei sehr geringer Messzeit (in nur wenigen Sekunde) erreicht.
Die Probe wird um 360o gedreht, wobei die Röntgenquelle und der Detektor positioniert sind, um eine bestimmte Anzahl von Reflexionen pro Umdrehung zu erreichen. Diese Reflexionen kann die Ausrichtung des Kristallgitters in Bezug auf die Rotationsachse mit hoher Präzision in kurzer Zeit gemessen werden.
SDCOM ist leicht und kompakt, sodass es mobil ist und sich problemlos in Ihren Prozess integrieren lässt – egal ob in der Forschung oder der Industrie. Die XRD Suite Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.
Flexibilität wird beim SDCOM ganz groß geschrieben, was sich besonders in der Bandbreite der Materialien zeigt, die gemessen werden können. SDCOM kann Kristalle ab einer Größe von 1 mm messen. Beispiele für messbare Materialien sind:
Es gibt auch eine Vielzahl von Probenhaltern und Transfervorrichtungen, die noch mehr Möglichkeiten für Ihre SDCOM-Anwendungen bieten mit Ihrem Workflow kompatibel sind. Manuelle und motorisierte Wafer-Mapping-Bühnen sind ebenfalls verfügbar.
Das SDCOM bietet je nach Probe eine ausgezeichnete Präzision von bis zu 0,01o und kann Kristalle ab 1 mm Größe messen. Diese Präzision wird dank der Azimut-Scanmethode, die eine vollständige Charakterisierung der Kristallausrichtung innerhalb einer einzigen Messdrehung ermöglicht, bei höchsten Geschwindigkeiten beibehalten. Es gibt zudem eine Option für eine laterale Kristallrichtungsmarkierungsfunktion.
Dank der manuellen Bedienung und des intuitiven Softwaredesigns ist das SDCOM einfach zu bedienen und für eine Vielzahl von unterschiedlichen Bedienern zugänglich. Praktisch sowohl in der Forschung als auch in der Industrie, wo die Erfahrung der Bediener variieren kann.
Die Röntgenröhre des SDCOM ist luftgekühlt, sodass keine Wasserkühlung erforderlich ist. Dank der Effizienz und der geringen Stellfläche des SDCOM wird sowohl Ihr Energieverbrauch als auch Ihre Betriebskosten auf ein Minimum reduziert.
Röntgenquelle | Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode |
Detektoren | Szintillationszähler-Technologie |
Probenhalter | Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, anpassbare Probenhalter und Transfervorrichtungen |
Durchmesser der Probe | Zwischen 2 mm und 200 mm ø |
Umgebungstemperatur | ≤ 30° C |
PC-Anforderungen | Windows 10 oder höher, .NET Framework-Update, 2 Ethernet-Ports |
Anforderungen an die Stromversorgung | 100–230 V, einphasig, 500 W |
Abmessungen | 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (H) |
Gewicht | ca. 100 kg |
Zertifizierung | Hergestellt nach ISO 9001-Richtlinien, CE-konform |
Alle technischen Parameter können forschungs- und entwicklungsabhängig geändert werden |
Für SDCOM sind verschiedene Probenhalter erhältlich, mit denen Sie kleinere, größere oder unregelmäßige Proben problemlos verarbeiten können.
Integrieren Sie SDCOM vollständig in Ihren Prozess, indem Sie spezielle Transfervorrichtungen hinzufügen, einschließlich Optionen für Sägedrähte, Schleifgeräte und vieles mehr.
Vielseitige, präzise und schnelle Röntgendiffraktion bei praktischer und kompakter Größe. Kostengünstig ohne Kompromisse.