SDCOM

Ultraschnelle, flexible Kristallausrichtung in einem kompakten Gehäuse

Das SDCOM kann Kristalle ab einer Größe von 1 mm messen und verwendet die Azimut-Scanmethode, um die vollständige Gitterausrichtung einzelner Kristalle mit nur einer Messrotation in nur wenigen Sekunden präzise zu bestimmen. Das vielseitige und zugängliche SDCOM eignet sich sowohl für die Qualitätskontrolle in der Forschung als auch in der Produktion und eignet sich problemlos für eine Vielzahl von Wafer- und Barren-Prozessschritten und erfordert keine Wasserkühlung.

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Übersicht

Eine schnelle und präzise Messung der Kristallausrichtung war noch nie so einfach. Lernen Sie SDCOM kennen – Ihr benutzerfreundliches und kompaktes XRD. Mit der Azimut-Scanmethode können Sie ultraschnelle Messung durchführen und erhalten Ergebnisse in weniger als fünf Sekunden. 

SDCOM bietet ein Höchstmaß an Präzision von bis zu 0,01o mit einer Vielzahl von Probenhaltern und Transfervorrichtungen, einschließlich einer Markierungsoption für die laterale Kristallrichtung und ist eine benutzerfreundlichem kompakte Einheit und die ideale Lösung für viele Anwendungen in der Wafer-Verarbeitung und -Forschung. 

Leistungsmerkmale und Vorteile

Ultraschnell und präzise: Azimut-Scanmethode

Die Azimut-Scanmethode benötigt nur einen Messkreis, um alle notwendigen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu sammeln. Dadurch wird eine hohe Präzision bei sehr geringer Messzeit (in nur wenigen Sekunde) erreicht.

Die Probe wird um 360o gedreht, wobei die Röntgenquelle und der Detektor positioniert sind, um eine bestimmte Anzahl von Reflexionen pro Umdrehung zu erreichen. Diese Reflexionen kann die Ausrichtung des Kristallgitters in Bezug auf die Rotationsachse mit hoher Präzision in kurzer Zeit gemessen werden.

Ultraschnell und präzise: Azimut-Scanmethode

Kompakt und vielseitig

SDCOM ist leicht und kompakt, sodass es mobil ist und sich problemlos in Ihren Prozess integrieren lässt – egal ob in der Forschung oder der Industrie. Die XRD Suite Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.

Flexibilität wird beim SDCOM ganz groß geschrieben, was sich besonders in der Bandbreite der Materialien zeigt, die gemessen werden können. SDCOM kann Kristalle ab einer Größe von 1 mm messen. Beispiele für messbare Materialien sind:

  • Kubisch, mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
  • Kubisch, mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
  • Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
  • Hexagonal und trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (quartz), Al2O3 (sapphire), GaPO4, La3Ga5SiO14
  • Orthorhombisch: Mg2SiO4, NdGaO

Es gibt auch eine Vielzahl von Probenhaltern und Transfervorrichtungen, die noch mehr Möglichkeiten für Ihre SDCOM-Anwendungen bieten mit Ihrem Workflow kompatibel sind. Manuelle und motorisierte Wafer-Mapping-Bühnen sind ebenfalls verfügbar.

Kompakt und vielseitig

Benutzerfreundliche Präzision

Das SDCOM bietet je nach Probe eine ausgezeichnete Präzision von bis zu 0,01o und kann Kristalle ab 1 mm Größe messen. Diese Präzision wird dank der Azimut-Scanmethode, die eine vollständige Charakterisierung der Kristallausrichtung innerhalb einer einzigen Messdrehung ermöglicht, bei höchsten Geschwindigkeiten beibehalten. Es gibt zudem eine Option für eine laterale Kristallrichtungsmarkierungsfunktion.

Dank der manuellen Bedienung und des intuitiven Softwaredesigns ist das SDCOM einfach zu bedienen und für eine Vielzahl von unterschiedlichen Bedienern zugänglich. Praktisch sowohl in der Forschung als auch in der Industrie, wo die Erfahrung der Bediener variieren kann.

Benutzerfreundliche Präzision

Kostengünstig

Die Röntgenröhre des SDCOM ist luftgekühlt, sodass keine Wasserkühlung erforderlich ist. Dank der Effizienz und der geringen Stellfläche des SDCOM wird sowohl Ihr Energieverbrauch als auch Ihre Betriebskosten auf ein Minimum reduziert. 

Kostengünstig

Wichtigste Anwendungen

Markieren und Messen von In-Plane-Richtungen
SDCOM liefert ultraschnelle, hochpräzise Kristallausrichtungsmessungen, die ideal für eine Reihe von Anwendungen in der Waferherstellung und -Verarbeitung geeignet sind, einschließlich der Markierung und Messung von In-Plane-Richtungen. Leicht und mobil kann das System überall dort eingesetzt werden, wo Sie es benötigen. 
SDCOM ist in der Lage, kleine Kristalle von bis zu 1 mm mit hoher Präzision und viele weitere Materialien zu messen und ist daher gut aufgestellt, die komplexen und sich ändernden Anforderungen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen.
Kontrolle der Produktionsqualität
Die routinemäßige Prozesssteuerung erfordert Geschwindigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit – und genau das liefert SDCOM. Die ultraschnellen Messungen sorgen dank des Desktop-Formats und der luftgekühlten Röntgenröhre für einen Produktivitätszuwachs, ohne dabei die Betriebskosten erheblich zu beeinträchtigen.
Materialforschung
Das SDCOM kann eine Vielzahl von Kristalltypen auf kleinem Raum im Labor messen und eignet sich ideal für Standardarbeitsabläufe in der Forschung. Die Betriebskosten werden durch minimalen Energieverbrauch und eine luftgekühlte Röntgenröhre ohne Bedarf an Wasserkühlung niedrig gehalten. 
SDCOM ist auch manuell gut zugänglich und einfach zu bedienen, was es zu einer praktischen Lösung für Forschungslabore mit vielen verschiedenen Bedienern macht.

Spezifikation

Röntgenquelle Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode
Detektoren Szintillationszähler-Technologie
Probenhalter Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, anpassbare Probenhalter und Transfervorrichtungen
Durchmesser der Probe Zwischen 2 mm und 200 mm ø
Umgebungstemperatur ≤ 30° C
PC-Anforderungen Windows 10 oder höher, .NET Framework-Update, 2 Ethernet-Ports
Anforderungen an die Stromversorgung 100–230 V, einphasig, 500 W
Abmessungen 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (H)
Gewicht ca. 100 kg
Zertifizierung Hergestellt nach ISO 9001-Richtlinien, CE-konform
Alle technischen Parameter können forschungs- und entwicklungsabhängig geändert werden

Zubehör

Probenhalter

Für SDCOM sind verschiedene Probenhalter erhältlich, mit denen Sie kleinere, größere oder unregelmäßige Proben problemlos verarbeiten können. 

Probenhalter

Transfervorrichtungen

Integrieren Sie SDCOM vollständig in Ihren Prozess, indem Sie spezielle Transfervorrichtungen hinzufügen, einschließlich Optionen für Sägedrähte, Schleifgeräte und vieles mehr.

Transfervorrichtungen

Support

Support-Services 

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstverträge
  • Leistungszertifikate
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

  • Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
  • Automatisierung und Beratung
  • Schulung und Weiterbildung
Ultraschnelle Messungen mit Kristallausrichtung leicht gemacht

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Vielseitige, präzise und schnelle Röntgendiffraktion bei praktischer und kompakter Größe. Kostengünstig ohne Kompromisse.

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