Übersicht
Das Wafer XRD 200 ist Ihre vollautomatische ultraschnelle Röntgendiffraktionsplattform für die Wafer-Produktion und -Forschung, wie Sie sie noch nie zuvor gesehen haben.
Das Wafer XRD 200 liefert in nur wenigen Sekunden wichtige Daten zu einer Vielzahl entscheidender Parameter wie Kristallausrichtung und Widerstand, geometrische Merkmale wie Flats und Notches, Abstandsmessungen und vieles mehr. Das System fügt sich nahtlos in Ihre Prozesslinie ein.
Leistungsmerkmale und Vorteile
Ultraschnelle Präzision mit proprietärer Scan-Technologie
Die Methode erfordert nur eine Wafer-Drehung, um alle notwendigen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu erfassen. Dadurch wird eine hohe Präzision bei sehr kurzer Messzeit (in nur wenigen Sekunden) erreicht.
Vollautomatische Handhabung und Sortierung
Wafer XRD 200 wurde entwickelt, um Ihren Durchsatz und Ihre Produktivität zu optimieren. Die vollständige Automatisierung der Handhabung und Sortierung sowie detaillierte Datenübertragungstools machen das System zu einem leistungsstarken und effizienten Element in Ihrem QK-Prozess.
Einfache Verbindung
Die leistungsstarke Automatisierung des Wafer XRD 200 ist sowohl mit MES- als auch mit SECS/GEM-Schnittstellen kompatibel. Das System lässt sich problemlos in Ihren neuen oder bestehenden Prozess integrieren.
Hohe Präzision, tiefere Einblicke
Mit den wichtigsten Messungen des Wafer XRD 200 verstehen Sie Ihre Materialien besser als je zuvor. Wafer XRD 200 misst:
- Kristallausrichtung
- Kerbposition, Tiefe und Öffnungswinkel
- Durchmesser
- Flachposition und Länge
- Widerstand
Die typische Standardabweichungsneigung (Beispiel: Si 100) für den Azimut-Scan ist <0,003o, mindestens <0,001o.
Leistungsstark und vielseitig
Das Wafer XRD 200 ermöglicht eine Vielzahl von Messungen mit hoher Geschwindigkeit – was Ihren Prozessen einen echten Mehrwert bringt, egal ob in der Forschung oder in der Produktion. Aber nicht nur in dieser Hinsicht ist das Wafer XRD 200 vielseitig und flexibel.
Das Wafer XRD 200 ermöglicht eine einfache und schnelle Analyse Hunderter potenzieller Proben, darunter:
- Si
- SiC
- AlN
- Al2O3 (Saphir)
- GaAs
- Quarz
- LiNbO3
- BBO
Wichtigste Anwendungen
-
- Produktion und Verarbeitung
- Automatisierung ist in dieser schnelllebigen Branche eine Notwendigkeit – und das Wafer XRD 200 ist dabei eine praktische, leistungsstarke Lösung für die Handhabung und Sortierung von Wafern sowie für präzise Messungen der Kristallausrichtung, die optische Bestimmung von Flats und Notches, Widerstandsmessungen und andere wichtige Parameter. Erleben Sie selbst die gesteigerte Produktivität!
- Qualitätskontrolle
- Das genaue und schnelle Verständnis Ihrer Materialien ist der Schlüssel zu einer hervorragenden Qualitätskontrolle, und das Wafer XRD 200 ist die ideale Lösung dafür. Mit der ultraschnellen Omega-Scan-Methode wird die Kristallausrichtung innerhalb einer einzigen Messung bestimmt, sodass Sie Ihre Ergebnisse in fünf Sekunden erhalten. Mit zusätzlichen Funktionen wie Widerstandsmessung und Bestimmung geometrischer Merkmale bietet der Wafer XRD 200 eine beispiellose Effizienz und Vielseitigkeit für die Qualitätskontrolle in der Produktion.
- Materialforschung
- Nicht jede geschäftige Umgebung befindet sich in der Produktion: Das Wafer XRD 200 ist gleichermaßen für Analysen mit hohem Durchsatz in F&E-Umgebungen geeignet. Das Wafer XRD 200 kann Hunderte verschiedene Materialien charakterisieren, von Si, SiC und GaAs bis hin zu Quarz, LiNbO3 und BBO. Das System ist so vielseitig, dass es Ihre Materialforschung und -innovation unterstützen und Ihnen dabei zu helfen kann, die Zukunft der Halbleitertechnologie zu gestalten.
Technische Daten
| Durchsatz | Mehr als 10.000 Wafer pro Monat |
| Wafergeometrie | Auf Anfrage |
| Neigungsgenauigkeit | 0,003 |
| XRD-Achse vs. Kerb-/Flachposition | 0,03° |
Unterstützung
Support-Services
- Hilfe am Telefon und Fernwartung
- Präventive Wartung und Checkups
- Flexible Kundendienstverträge
- Leistungszertifikate
- Software- und Hardware-Upgrades
- Lokaler und globaler Support
Know-how
- Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
- Automatisierung und Beratung
- Schulung und Weiterbildung
