X'Pert³ MRD XL

Der PIXcel^3D ist ein einzigartiger 2D-Solid State-Hybrid-Pixeldetektor. Jedes Pixel hat eine Größe von 55 x 55 Mikrometern, und das Detektorarray hat eine Größe von 256 x 256 Pixeln. Der Detektor, der jetzt auf der Medipix3-Technologie basiert, bietet mit seiner Punktspreizfunktion von einem Pixel und mehreren Energieunterscheidungsstufen ein unübertroffenes Signal-Rausch-Verhältnis.

Das X’Pert³ MRD XL Reinraumpaket umfasst intelligente Lösungen, einschließlich einer Lüfterfiltereinheit, die in Ihr bestehendes Gerät nachgerüstet oder mit einem neuen geliefert werden kann.

Durch die Filterung der Luft um Ihre Halbleiter-Waferprobe lassen sich mit dem MRD XL Reinraumpaket Kontaminationen bei der Analyse vermeiden. Dadurch können Sie in einer größeren Bandbreite von Umgebungen messen, ohne in ein neues Gerät investieren zu müssen.

As an additional software solution for our X’Pert³ MRD XL tool, automation can be integrated into your existing instrument to provide SECS/GEM compliant host control.

With these new capabilities, the MRD XL system can now play out its modularity and flexibility in a host controlled fab environment. This enables ensuring a contamination-free research or production environment.