Metrology 半導體
半導體產業的應用遍布於現代生活中的每一個面向,而對於半導體產業而言,精確度和品質是至關重要的因素。半導體精密量測係指針對半導體元件與材料之物理性質、電性進行一系列的量測與特性分析。對於低公差、高效能的製程而言,準確的精密量測結果向來是不可或缺的關鍵要素。
Malvern Panalytical 提供一系列先進的 X 光精密量測解決方案、工具和技術,它們都經特別設計,能以非破壞性的方式進行材料特性分析及晶圓檢驗等多種測量,可支援各式各樣半導體製造的製程階段。
如前所述,精密量測可用以進行關鍵的材料特性分析、測量和其他各式分析,在半導體產業中扮演著極關鍵的角色。
隨著此產業不斷快速發展,了解結構及化學特性對於以下幾個關鍵領域的重要性與需求將日益增加:
晶圓檢驗係指根據結構及化學特性檢查半導體晶圓是否具有缺陷、不規則性和不均質性的過程。藉由晶圓檢驗,在進入最終元件功能測試之前,存在於晶圓上的任何問題將可被及早發現。採用 X 光精密量測的晶圓檢驗通常用於測量以下特性:
若要製造出符合設計規格且可正常運作的元件,控制好這些特性極其重要。從長遠來看,及早偵測有助於提高產量,並可節省時間和資源。
多年來,Malvern Panalytical 持續為其客戶提供高產量和業界最佳的解決方案,以協助因應半導體產業不斷變化和日益嚴格的製程需求。
Malvern Panalytical 在整個價值鏈中提供多樣解決方案,和電子產業關係緊密: