Eletrônicos e semicondutores

Soluções de metrologia para fabricação de componentes eletrônicos em grandes volumes e com base em filme fino

Os avanços na pesquisa de materiais e na tecnologia de semicondutores trouxeram grandes mudanças à maneira como vivemos. Eles impulsionaram o desenvolvimento em quase todos os aspectos do nosso cotidiano: telefones, tecnologias usáveis e brinquedos inteligentes, notebooks, redes sem fio, sistemas de infoentretenimento em casa, carros e medidores inteligentes. 

Os setores de visores eletrônicos, armazenamento de dados e tecnologia de filtro de RF avançaram rapidamente, e a taxa de mudança continua seguindo a lei de Moore. As tecnologias de crescimento agora permitem a deposição de estruturas em várias camadas com camadas individuais que exibem espessura de filme de mícrons a monocamadas. 

Os materiais típicos envolvidos em dispositivos avançados de filme fino são semicondutores, ligas de metal, dielétricos, óxidos e polímeros. Isso exige o monitoramento e o controle precisos dos parâmetros do dispositivo usando várias técnicas de investigação. Igualmente importante é o controle preciso sobre os materiais de processo, como a pasta CMP, que é uma parte indispensável de qualquer fabricação de dispositivo de filme fino. 

Os dispositivos baseados em filme fino geralmente são fabricados usando um processo complexo de fabricação em várias etapas. A fluorescência de raios X (XRF) e a difração de raios X (XRD) são parte integrante de qualquer processo de fabricação para monitorar e controlar parâmetros críticos de filme fino em cada etapa.  Os visores eletrônicos empregam várias tecnologias, como cristais líquidos, dispersões de pigmentos, pontos quânticos e OLEDs. Na maioria deles, o tamanho e a forma das partículas desempenham um papel importante e precisam de caracterização confiável. Nos OLEDs, o controle rigoroso sobre as características do polímero, como tamanho e peso molecular, é fundamental para a qualidade do visor.

Soluções analíticas para o setor de eletrônicos

A Malvern Panalytical está intimamente associada ao setor de eletrônicos com uma ampla gama de soluções em toda a cadeia de valor:


  • A XRF (2830 ZT) fornece informações de espessura e composição de uma ampla gama de filmes finos, com níveis de contaminação e dopantes e uniformidade da superfície em wafers de até 300 mm de tamanho.
  • A XRD (X'Pert3 MRD e X'Pert3 MRD XL) fornece informações absolutas, sem calibração e precisas sobre o crescimento do cristal, incluindo composição do material, espessura do filme, perfil de classificação e qualidade de fase e cristal.
  • A difração laser (Mastersizer) mede a distribuição do tamanho das partículas em dispersões de pó e pastas, por exemplo, pasta CMP e materiais de visores eletrônicos.
  • A formação de imagens (Morphologi 4) analisa a forma e a morfologia das partículas usando imagens automatizadas. 
  • O potencial zeta (linha Zetasizer) determina a estabilidade de pastas usadas no setor de eletrônicos pela medição do potencial zeta. Ele também mede o tamanho das partículas em suspensões de nanopartículas.
  • O GPC/SEC (OMNISEC) analisa tamanho, peso molecular, viscosidade intrínseca, ramificação e outros parâmetros de polímeros usados no setor de eletrônicos. 
  • XRF (Epsilon 4): uma análise de composição química de matérias-primas e produtos acabados e análise RoHS/WEEE de componentes eletrônicos.
  • XRD (Aeris): uma análise de fase cristalina de matérias-primas e produtos acabados no setor de eletrônicos.

Nossas soluções

2830 ZT

Ferramenta de metrologia de filme fino de semicondutores avançados
2830 ZT

X'Pert³

A plataforma X'Pert aprimorada
X'Pert³

Linha Mastersizer

Analisador de tamanho das partículas líder do setor
Linha Mastersizer

Linha Zetasizer

Análise de potencial zeta e de nanopartículas
Linha Zetasizer

OMNISEC

Solução GPC/SEC para a medição do peso molecular absoluto, da viscosidade intrínseca e de outros parâmetros de polímero.
OMNISEC

Epsilon 4

FRX de bancada para composição química e análise de impurezas
Epsilon 4

Aeris

DRX compacta para medir o tamanho do cristalito e a fase de cristal
Aeris

Morphologi 4

Análise do formato das partículas com alta precisão estatística
Morphologi 4