Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein Analyseverfahren, das zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung unterschiedlichster Probentypen eingesetzt werden kann. Hierzu gehören Feststoffe, Flüssigkeiten, Suspensionen und lose Pulver. Die Röntgenfluoreszenzanalyse wird auch zur Bestimmung der Zusammensetzung und Dicke von Schichten und Beschichtungen eingesetzt. Es können Elemente von Beryllium (Be) bis Uran (U) in Konzentrationsbereichen von 100 Gew.-% bis hin zu Sub-ppm analysiert werden.

Die RFA ist ein robustes Verfahren, das hohe Präzision und Genauigkeit mit einfacher, schneller Probenvorbereitung vereint. Für den Einsatz in Umgebungen mit hohem Durchsatz kann sie leicht automatisiert werden. Darüber hinaus liefert die RFA sowohl qualitative als auch quantitative Informationen zu einer Probe. Eine einfache Kombination aus den Informationen „was?‟ und „wie viel?‟ ermöglicht auch schnelle Screeninganalysen (semiquantitativ).

Die RFA ist eine Atom-Emissions-Methode, die in dieser Hinsicht der optischen Emissionsspektroskopie (OES), der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und der Neutronenaktivierungsanalyse (Gamma-Spektroskopie) ähnelt. Bei solchen Methoden werden die Wellenlänge und die Intensität von „Licht“ (in diesem Fall Röntgenstrahlen) gemessen, das von den angeregten Atomen in der Probe emittiert wird. Bei der RFA verursacht die Strahlung eines primären Röntgenstrahls aus einer Röntgenröhre die Emission von fluoreszierenden Röntgenstrahlen mit einzelnen, charakteristischen Energien für die verschiedenen Elemente in einer Probe.

Die Technologie für die Trennung (Dispersion), Identifizierung und Intensitätsbestimmung eines Röntgenfluoreszenzspektrums führt zu zwei Haupttypen von Spektrometern: wellenlängendispersive (WDRFA) und energiedispersive (EDRFA) Systeme.