Les technologies de métrologie à rayons X se sont adaptées aux avancées de l'industrie grâce au développement de nouvelles applications et technologies basées sur les couches, et constituent encore aujourd'hui des outils essentiels, de la phase de R&D jusqu'à la fabrication automatisée à grande échelle de semi-conducteurs, en passant par les productions pilotes.
ZetiumL'excellence élémentaire |
Axios FASTCadence d'analyse élevée |
2830 ZTSolution avancée de métrologie des couches minces de semi-conducteurs |
Epsilon 4Analyse élémentaire à proximité de ligne rapide et précise |
X'Pert³ MRDLa nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux |
X'Pert3 MRD (XL)La nouvelle génération de diffractomètres polyvalents pour la recherche en matériaux |
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Type de mesure | ||||||
Métrologie des couches minces | ||||||
Technologie | ||||||
Fluorescence X à dispersion de longueur d'onde (WDXRF) | ||||||
Diffraction des rayons X (XRD) | ||||||
Fluorescence X à dispersion d'énergie (EDXRF) |