蛍光X線分光装置（XRF）は、固体だけでなく液体・ペースト状など、さまざまな形態の材料から元素に関する情報を非破壊的に取得できる分析装置です。この装置は多岐にわたるアプリケーションで使用されます。例えば、無機・鉱業（セメント製造、ガラス製造、採掘、鉱物選鉱など）、金属（鉄、鋼および非鉄金属など）、高分子（石油および石油化学製品、ポリマーおよび関連産業）、そして科学捜査、製薬、ヘルスケア製品、環境、食品、化粧品などに広く適用されています。
EDXの装置構成と動作原理
蛍光X線分光装置の基本的な構成は、放射線源、試料、および検出系から成り立っています。
EDXでは、光源として機能する白色X線管が試料に直接X線を照射します。そして、試料から生じる蛍光（X線）がエネルギー分散型検出器に入ることで測定されます。
この検出器は試料から得られる特性蛍光X線をそれぞれ異なるエネルギーとして分離し、エネルギーごとに並べ替えることで、元素特有の蛍光X線スペクトルを得ることができます。この分離と信号の並べ替えのプロセスを「分散」と呼びます。
EDSとEDXの違い
EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）とEDX（Energy Dispersive X-ray）は、基本的に同じ技術を指しますが、使われ方や装置機構で微妙な違いがあります。
具体的には：
- EDXは、蛍光X線を使って物質の組成を分析する一般的な用語で、特に研究や教育の文脈でよく使われます。
- 一方、EDSは、物質の組成を調べるために使用される蛍光X線分析技術を指し、特に電子顕微鏡と組み合わせて使用されることが多いです。物質に高エネルギーの電子ビームを照射してX線を生成し、そのX線のエネルギーを分析することで、物質中の元素の種類と量を特定します。
つまり、EDSとEDXは同じ技術を指す言葉であり、蛍光X線を使って物質の元素組成を分析する方法を表しますが、EDSは特に電子顕微鏡と組み合わせた場合により具体的に言及される傾向があると言えます。
そのため、一般的に、マルバーンパナリティカルでは、より一般的な用語であるEDXを採用しています。
EDX分光装置の利点
- 小型でコンパクトな装置設計
- メンテナンスがほとんど必要ない
- 水、圧縮空気、またはガスが不要
- 省電力
- システム分解能の向上
- 同時元素分析
