박막 계측학

X선 박막 분석

X선 계측학은 층 구조의 종류가 다양한 마이크로 및 광전자 소자의 개발 및 대량 생산 시 박막 분석에 이상적인 도구입니다. XRD, XRR, XRF 등 X선 방법 기반의 측정 도구는 초박 단층부터 복잡한 다층 스택까지 매우 중요한 매개변수를 신속하고 비파괴적으로 신뢰하면서 정확하게 이용할 수 있는 것으로 입증되었습니다.

X선 계측학은 층 기반의 새로운 응용 분야와 기술 개발을 통해 산업과 함께 발전하고 있으며, 시험 생산을 통한 R&D 단계부터 반도체 소자의 대규모 자동 제조까지 기본적인 도구의 역할을 계속하고 있습니다.

Zetium

Zetium

구성요소의 탁월함

Axios FAST

Axios FAST

고속 샘플 처리

2830 ZT

2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

Epsilon 4

Epsilon 4

신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

다목적 연구 및 개발 XRD 시스템

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템

측정 유형
박막 계측학
기술 유형
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
X-ray Diffraction (XRD)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)