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박막 계측

X선 박막 분석

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박막 계측

X선 계측은 층 구조의 종류가 다양한 마이크로 및 광전자 소자의 개발 및 대량 생산 시 박막 분석에 이상적인 도구입니다. 

X선 계측 기술은 새로운 레이어 기반 애플리케이션과 기술 개발을 통해 업계의 발전과 함께 발전했습니다. 

그리고 R&D 단계부터 시범 생산, 본격적인 자동화된 반도체 장비 제조에 이르기까지 필수적인 도구로 계속 사용되고 있습니다.

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박막 분석 솔루션

XRD, XRR, XRF 등 X선 방법 기반의 측정 도구는 초박 단층부터 복잡한 다층 스택까지 매우 중요한 박막 매개변수를 신속하고 비파괴적으로 신뢰하면서 정확하게 이용할 수 있는 것으로 입증되었습니다.

아래에서 박막 분석 기기에 대해 자세히 알아보십시오.

우리 제품 비교 방법

  • Zetium

    고급형 플로어스탠딩 WDXRF 분광기

    Zetium

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청

  • Axios FAST

    고처리량 동시 WDXRF 분광기

    Axios FAST

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청

  • 2830 ZT

    고급 반도체 박막 계측학 솔루션

    2830 ZT

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청

  • Epsilon 4

    신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

    Epsilon 4

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청

  • X'Pert³ MRD

    다목적 연구 및 개발 XRD 시스템

    X'Pert³ MRD

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청

  • X'Pert³ MRD XL

    다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템

    X'Pert³ MRD XL

    측정 유형

    • 박막 계측학

    기술 유형

    • Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
    • X-ray Diffraction (XRD)
    • Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
    자세한 내용은 견적 요청