박막 계측

X선 박막 분석

박막 계측

X선 계측은 층 구조의 종류가 다양한 마이크로 및 광전자 소자의 개발 및 대량 생산 시 박막 분석에 이상적인 도구입니다. 

X선 계측 기술은 새로운 레이어 기반 애플리케이션과 기술 개발을 통해 업계의 발전과 함께 발전했습니다. 

그리고 R&D 단계부터 시범 생산, 본격적인 자동화된 반도체 장비 제조에 이르기까지 필수적인 도구로 계속 사용되고 있습니다.

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박막 분석 솔루션

XRD, XRR, XRF 등 X선 방법 기반의 측정 도구는 초박 단층부터 복잡한 다층 스택까지 매우 중요한 박막 매개변수를 신속하고 비파괴적으로 신뢰하면서 정확하게 이용할 수 있는 것으로 입증되었습니다.

아래에서 박막 분석 기기에 대해 자세히 알아보십시오.

Zetium

Zetium

구성요소의 탁월함

Axios FAST

Axios FAST

최고의 처리량 또는 가장 짧은 측정 시간을 위해 선택한 XRF

2830 ZT

2830 ZT

고급 반도체 박막 계측학 솔루션

Epsilon 4

Epsilon 4

신속하고 정확한 앳라인 원소 분석

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

다목적 연구 및 개발 XRD 시스템

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템

측정 유형
박막 계측학
기술 유형
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
X-ray Diffraction (XRD)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)