Omega/Theta XRD

Das Omega/Theta XRD ist ein zuverlässiges, zukunftssicheres Gerät für die Bestimmung der Kristallausrichtung in der sich wandelnden Halbleiterindustrie. Marktführende Präzision, höchste Messgeschwindigkeiten und hochwertige Verarbeitungsqualität kombiniert mit der Leistungsfähigkeit der Automatisierung – damit Ihre Prozesse auf alles vorbereitet sind. Das Omega/Theta XRD bietet eine beispiellose Effizienz und Präzision bei der Ausrichtung und Justage von Kristallen und ist ideal für Produktions- und Forschungsanwendungen geeignet.

Ultraschnelle Präzision mit proprietärer Scan-Technologie

Unsere Methode erfordert nur einen Messkreis, um alle notwendigen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu sammeln. Dadurch wird eine hohe Präzision bei sehr kurzer Messzeit (in nur wenigen Sekunden) erreicht.

Einfache Verbindung per Schnittstelle für erweiterte Konnektivität und automatisierte Messungen

Alle Messungen mit dem Omega/Theta XRD sind automatisiert und werden über die benutzerfreundliche XRD-Software verwaltet. Das Gerät kann mithilfe verschiedener MES-, SECS/GEM- und ähnlicher Schnittstellen problemlos in bestehende Prozesse in Produktionsumgebungen integriert werden. 

Charakterisieren Sie eine Reihe von Materialien

Das Omega/Theta XRD kann zur Charakterisierung aller einkristallinen Materialien verwendet werden. Häufig verwendete Materialien:

• Si
• Ge
• SiC
• AIN
• GaN
• GaAs
• Quarz
• LiNbO₃
• CdTe
• BBO

Praktische, flexible Handhabung von Proben

Unser umfangreiches Zubehörsortiment steigert die Produktivität des Omega/Theta XRD in einer Vielzahl von Anwendungen, vom Bohren über das Mahlen und Schneiden bis hin zur Steuerung der Wafergeometrie. So bleiben Sie flexibel, auch wenn sich diese Anforderungen im Laufe der Zeit ändern. Zusatzgeräte umfassen: 

• Automatische X-Y-Mapping-Bühne zur kartografischen Darstellung der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen auf einem benutzerdefinierten Raster 
• Stapeltisch zum Ausrichten von Barren vor dem Sägevorgang 
• Rockingkurvengerät für die Qualitätsmessung
• Zusätzliche Rotationsachse der Probe
• Fotokamera und Bildverarbeitung
• Laserscanner zur Messung der Probenform
• Ausrüstung zur Probenausrichtung
• Es gibt noch viele weitere kundenspezifische Konstruktionslösungen!

Produktion

Das Omega/Theta XRD wurde für Hersteller entwickelt. Es eignet sich ideal für die ultraschnelle Ausrichtung und Justage verschiedener Kristalltypen in der Produktion, für das Markieren von Richtungen in der Ebene oder für die Überprüfung der Ausrichtung von Flächen oder Kerben. Dank seiner hohen Durchsatzgeschwindigkeiten und Automatisierungsfunktionen ist es zudem ideal für die Qualitätskontrolle in der Produktion geeignet. 

Optionale Extras wie ein Stapeltisch zum Ausrichten von Barren vor dem Sägevorgang und ein Rockingkurvengerät für Qualitätsmessungen machen das Omega/Theta XRD zu einem vielseitigen Gerät für Produktionsanwendungen.

Materialforschung

Die hohe Präzision und Flexibilität des OMEGA/Theta XRD macht es ideal für die Materialforschung, da es eine Reihe von Proben mit bis zu 30 kg Gewicht und 450 mm Länge aufnehmen kann, wobei zusätzliche Tische für größere oder komplexere Proben verfügbar sind. 

Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu charakterisieren, weshalb es für Ihre FuE-Prozesse äußerst nützlich ist – und die flexible Theta-Scan-Methode eröffnet eine Welt von Messmöglichkeiten.

Support-Services 

• Hilfe am Telefon und Fernwartung
• Präventive Wartung und Checkups
• Flexible Kundendienstverträge
• Leistungszertifikate
• Software- und Hardware-Upgrades
• Lokaler und globaler Support

Know-how

• Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
• Automatisierung und Beratung
• Schulung und Weiterbildung