X線回折装置（XRD）Empyreanシリーズ
多目的 X 線回折装置
技術
- XRD分析
測定タイプ
- エピタキシー分析
- 相同定
- 位相の定量化
- 界面粗さ
- 薄膜測定
- 残留応力
- 配向分析
- 逆格子空間解析
- 粒子形状
- 粒子径
- 結晶構造の解析
- 汚染物質の検出と分析
- 3D構造/画像処理
エピタキシー分析
エピタキシャル層状構造の分析
エピタキシャル層状構造の分析
高解像度X線回折 は、エピタキシャル層、ヘテロ構造、及び超格子系の強力な非破壊構造解析ツールです。
これは工業生産やエピタキシャル成長構造の発生段階で使用されている標準ツールです。
回折パターンからは、次のような多くの重要な情報が得られます：
界面の相互拡散や混合の形成でさえ、特定の状況下で調査できます。
迅速な検査のために、基板や層のピーク位置を分析に使用できます。
ただし、一般に動的散乱理論に基づくフルパターンシミュレーションは、関連するパラメータの定量化に用いられます。
多目的 X 線回折装置
多目的研究開発XRDシステム
薄膜単結晶解析X線回折装置
