XRR - X線反射率法

反射率測定実験では、試料のX線反射を臨界角付近（一般に斜入射条件）で測定します。全外部反射の臨界角より下では、X線は試料中に数ナノメートルしか侵入しませんが、この角度を超えると侵入深さは急速に増加します。

電子密度が変化する各界面でX線の一部が反射され、これらの部分反射波の干渉によって反射率実験で観察される振動パターンが生じます。

これらの反射率曲線から、各層の結晶性（単結晶、多結晶、非晶質）に依存せず、層厚や密度、界面および表面粗さといったパラメータを求めることができます。

反射率測定は、Aeris（膜厚 1～200 nm）および Empyrean（膜厚 1～1000 nm）の両方のXRDシステムで実施できます。 

反射率測定データは、自動フィッティング手法を選択して解析できるため、AMASSソフトウェア内で迅速かつ容易な解析が可能です。