Malvern Panalytical Future Days: Focus On Semiconductor
- 製品:
- Crystal orientation range, 2830 ZT, X'Pert3 range
- 技術:
- XRF分析, 動的光散乱法（DLS）, 波長分散型蛍光X線, XRD分析
- 業界:
- 半導体/エレクトロニクス
2830 ZT
2830 ZT波長分散型蛍光X線(WDXRF)ウェハーアナライザは、膜厚・組成を測定するための究極の機能を提供します。 2830 ZTウェーハアナライザは半導体およびデータストレージ業界向けに開発されており、最大300 mmの各種ウェーハの層の組成、厚さ、ドーパントレベル、表面の均一性を測定できます。
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