X'Pert³シリーズ - サポート
強化されたX’Pertプラットフォーム
評価を得ているX'Pertプラットフォームが、Malvern PanalyticalのX'Pert³シリーズのX線回折システムでも採用されています。 新しい制御回路を搭載し、最新の最も厳格なX線基準と安全基準に準拠し、環境に配慮し高い信頼性を誇るX'Pert³プラットフォームが用意されています。
• 最長の耐用期間を誇るCRISPを搭載した入射光コンポーネント
• エアー式シャッターとビームアッテネータによる最大稼働時間
• 第2世代PreFIX技術により新しいアプリケーションに簡単に拡張
• 迅速で信頼性が高く、ツール不要な管球フォーカスの変更
• インターネットに直接接続できる新しい制御回路
• 最も厳格な安全規制に準拠
サポートされている製品
X'Pert³ MRD
Versatile materials research diffraction system
- 測定
-
Epitaxy analysis
Interface roughness
Phase identification
Phase quantification
Reciprocal space analysis
Residual stress
Texture analysis
Thin film metrology
- Wafer mapping
- 100 mm
- C-to-C wafer loader
- No
- Goniometer configuration
- Horizontal goniometer, Θ-2Θ
- Minimum step size
- 0.0001º
- 技術
-
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert³ MRD XL
薄膜単結晶解析X線回折装置
- 測定
-
Epitaxy analysis
Phase identification
Phase quantification
Thin film metrology
Residual stress
Texture analysis
Reciprocal space analysis
Interface roughness
- Wafer mapping
- 200 mm
- C-to-C wafer loader
- Yes
- Goniometer configuration
- Horizontal goniometer, Θ-2Θ
- Minimum step size
- 0.0001º
- Detector
- PIXcel1D, PIXcel3D, Proportional counter, Scintilation detector
- X-ray tube anode material
- Cu, Co,Cr, Mn, Fe, Mo
- 技術
-
X-ray Diffraction (XRD)
X'Pert3 Powder
The next generation cost-effective, multipurpose X-ray diffraction platform
- 測定
-
3D structure / imaging
- Accuracy
- 1% (non-condensing)
- 技術
-
X-ray Diffraction (XRD)