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X'Pert³ MRD XL

長い歴史と高い評価を誇るMalvern Panalyticalの薄膜単結晶解析X線回折装置(MRD)は、X’Pert³ MRD XL世代でも採用されています。 新しいプラットフォームの向上したパフォーマンスと信頼性により、X線散乱法の分析能力と機能を強化し、次の分野に対応しています。

• 最先端材料物性
• 研究ならびに工業用薄膜技術
• 半導体プロセス開発での計量特性評価

X'Pert³ MRD XLは、半導体、薄膜、および最先端材料の各分野で要求されるすべての高分解能XRD分析能力に応える製品です。 最大200mmまでの完全なウェハーマッピングが可能 X’Pert3バージョンは、最長の耐用期間を誇る入射光コンポーネント(CRISP)を搭載し、空圧式シャッターとビーム減衰器により最大稼働時間を達成しています。 

洗練された自動ウェハー装填オプションにより最大300 mm径のウェハー分析が可能なX'Pert³ MRD XLは、多層薄膜構造の品質管理に対応した高度なツールとして機能します。

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検出器

PIXcel3D

The first detector to bring 0D-1D-2D and 3D data to your diffractometer

The PIXcel3D is a unique 2D solid-state hybrid pixel detector. Each pixel is 55 microns x 55 microns and the detector array is 256 x 256 pixels. The detector, now based on Medipix3 technology, brings unrivalled signal to noise with its point spread function of one pixel and multiple energy discrimination levels.

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ソリューション

お客様の装置が最高の状態を保ち、最高レベルで機能するために、
Malvern Panalyticalではさまざまなサービスを提供しています。 当社の専門知識とサポートサービスは、
装置が最適に機能するよう保証します。

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• 電話とリモートサポート 
• 予防メンテナンスと点検
• 柔軟なカスタマーケア契約 
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• ハードウェアおよびソフトウェアアップグレード 
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• 分析方法論 
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• オンサイトまたは当社の研修センターでのトレーニング
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• カスタマイズされた校正用材料 

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