X'Pert³ MRD XL
薄膜単結晶解析X線回折装置
長い歴史と高い評価を誇るMalvern Panalyticalの薄膜単結晶解析X線回折装置(MRD)は、X’Pert³ MRD XL世代でも採用されています。 新しいプラットフォームの向上したパフォーマンスと信頼性により、X線散乱法の分析能力と機能を強化し、次の分野に対応しています。
• 最先端材料物性
• 研究ならびに工業用薄膜技術
• 半導体プロセス開発での計量特性評価
X'Pert³ MRD XLは、半導体、薄膜、および最先端材料の各分野で要求されるすべての高分解能XRD分析能力に応える製品です。 最大200mmまでの完全なウェハーマッピングが可能 X’Pert3バージョンは、最長の耐用期間を誇る入射光コンポーネント(CRISP)を搭載し、空圧式シャッターとビーム減衰器により最大稼働時間を達成しています。
洗練された自動ウェハー装填オプションにより最大300 mm径のウェハー分析が可能なX'Pert³ MRD XLは、多層薄膜構造の品質管理に対応した高度なツールとして機能します。
マニュアルとソフトウェア
最新のソフトウェアについてはお問い合わせください。
サポート契約のオプション
投資利益率を最大限にする
ソリューション
お客様の装置が最高の状態を保ち、最高レベルで機能するために、
Malvern Panalyticalではさまざまなサービスを提供しています。 当社の専門知識とサポートサービスは、
装置が最適に機能するよう保証します。
サポート
ご使用中のサービス
• 電話とリモートサポート
• 予防メンテナンスと点検
• 柔軟なカスタマーケア契約
• パフォーマンス認証
• ハードウェアおよびソフトウェアアップグレード
• ローカルおよびグローバルサポート
専門知識
工程に価値を付加する
• サンプルプレパレーション法の開発/最適化
• 分析方法論
• XRD用ターンキーソリューション
• IQ/OQ/PQによるオペレーション、品質保証(GLP、ISO17025)、またはラウンドロビン/研究所間の連携
• ラボ工程の自動化
• コンサルティングサービス
トレーニングと教育
• オンサイトまたは当社の研修センターでのトレーニング
• 製品、アプリケーションおよびソフトウェに関する広範な基本コースおよび上級コース
分析サービスとキャリブレーション材料
• 専門家による(XRF)分析サービス
• 酸化物と微量元素の分析
• カスタマイズされた校正用材料