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薄膜精密量測

X 光薄膜分析

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薄膜精密量測

X 光精密量測是理想的薄膜分析工具，適用於各種不同層級結構之微型與光電裝置的開發與大量生產。 

透過新的分層式應用和技術的開發，各種 X 光精密量測技術已能跟上業界的發展腳步。 

從半導體裝置的研發、試生產一直到全面自動化製造階段，這些技術會持續作為重要的工具。

薄膜分析解決方案

基於 X 光方法的測量工具，例如 XRD、XRR 和 XRF，經證實可提供快速、非破壞性、可靠且準確的關鍵薄膜參數，涵蓋範圍從超薄單層到複雜的多層堆疊。

在下方進一步瞭解我們的薄膜分析儀器。

我們的產品如何比較

  • Zetium 系列

    高端落地式 WDXRF 光譜儀

    Zetium 系列

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
    更多細節 索取報價

  • Axios FAST

    高通量同步 WDXRF 光譜儀

    Axios FAST

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
    更多細節 索取報價

  • 2830 ZT

    先進半導體薄膜的精密量測解決方案

    2830 ZT

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
    更多細節 索取報價

  • Epsilon 4

    快速準確的在線 (at-line) 元素分析

    Epsilon 4

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
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  • X'Pert³ MRD

    新一代高分辨X射线衍射仪

    X'Pert³ MRD

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
    更多細節 索取報價

  • X'Pert³ MRD XL

    能滿足研發與品管的自動化 XRD 系統

    X'Pert³ MRD XL

    量測類型

    • 薄膜測量

    技術類型

    • 波长色散式 X 射线荧光 (WDXRF)
    • X光繞射(XRD)
    • 能量色散式 X 光螢光 (EDXRF)
    更多細節 索取報價