Röntgenfluoreszenzspektrometer (RFA)

Professionelle RFA-Spektrometer für die Analyse der Elementarzusammensetzung

RFA-Spektrometer können mit dedizierten Softwareoptionen für spezifische Arten der Röntgenfluoreszenzanalyse konfiguriert werden. In Kombination mit Anwendungsmodulen (Anwendungskonfiguration, Kalibrierung und Standards) oder als Paket mit Probenvorbereitungsprodukten entstehen Analytik-Komplettlösungen. Alle Malvern Panalytical-Produkte werden von unserer Kundenbetreuung und dem Kundenservice unterstützt.

In unserem Knowledge-Center finden Sie weitere Informationen über die vielen interessanten RFA-Anwendungen, die mit unseren Spektrometern möglich werden.

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

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Epsilon 1

Epsilon 1

Kleiner, leistungsstarker und tragbarer RFA-Analysator

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Epsilon 4

Epsilon 4

Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementaranalyse

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Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

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2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
Quantifizierung von Elementen
Chemische Identifikation
Technologie
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day