RFA-Spektrometer können mit dedizierten Softwareoptionen für spezifische Arten der Röntgenfluoreszenzanalyse konfiguriert werden. In Kombination mit Anwendungsmodulen (Anwendungskonfiguration, Kalibrierung und Standards) oder als Paket mit Probenvorbereitungsprodukten entstehen Analytik-Komplettlösungen. Alle Malvern Panalytical-Produkte werden von unserer Kundenbetreuung und dem Kundenservice unterstützt.

In unserem Knowledge-Center finden Sie weitere Informationen über die vielen interessanten RFA-Anwendungen, die mit unseren Spektrometern möglich werden.

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 1

Epsilon 1

Kleiner, leistungsstarker und tragbarer RFA-Analysator

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Messung Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Na-Am
Auflösung (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Probendurchsatz Up to - 80per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon 4

Epsilon 4

Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementaranalyse

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich C-Am
Auflösung (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Probendurchsatz Up to - 160per 8h day
Technologie X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

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Messung Elementaranalyse
Elementbereich Na-Am
Auflösung (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Probendurchsatz on-line
Technologie Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

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Messung Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
Probendurchsatz up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

Epsilon 1

Epsilon 1

Kleiner, leistungsstarker und tragbarer RFA-Analysator

Epsilon 4

Epsilon 4

Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementaranalyse

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

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Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Elementaranalyse Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) X-ray Fluorescence (XRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Epsilon 1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium Epsilon 1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

Elementare Leistung

Kleiner, leistungsstarker und tragbarer RFA-Analysator

Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementaranalyse

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Hoher Probendurchsatz

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Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Chemische Identifikation
Technologie
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 80per 8h day Up to - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day