Röntgenmessverfahren haben mit Entwicklungen der Branche Schritt gehalten. Dies ist der Entwicklung neuer Anwendungen und Technologien zu verdanken. Somit stellen sie weiterhin unverzichtbare Werkzeuge dar: von der F&E-Phase über die Pilotproduktion bis zur vollständig automatisierten Fertigung von Halbleiterbauelementen.
ZetiumElementare Leistung |
Axios FASTHoher Probendurchsatz |
2830 ZTFortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik |
Epsilon 4Schnelle und genaue Vor-Ort-Elementanalyse |
X'Pert³ MRDVielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung |
X'Pert³ MRD XLVielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle |
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Typ der Messung | ||||||
Dünnschicht-Messtechnik | ||||||
Technologie | ||||||
Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA) | ||||||
Röntgenbeugung (XRD) | ||||||
Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA) |