Dünnschicht-Messtechnik

Dünnschichtanalyse mit Röntgenstrahlen

Dünnschicht-Messtechnik

Die Röntgenstrahlen-Messtechnik ist das ideale Werkzeug für die Dünnschichtanalyse bei der Entwicklung und Massenproduktion verschiedener Layer-strukturierter mikro- und optoelektronischen Geräten. 

Röntgenstrahlen-Messtechniken haben mit den Fortschritten in der Branche durch die Entwicklung neuer Layer-basierter Anwendungen und Technologien mitgehalten. 

Von der F&E-Phase über die Pilotproduktion bis hin zur vollumfänglichen automatisierten Fertigung von Halbleiterbauelementen dienen sie weiterhin als wichtige Werkzeuge.

Lösungen zur Dünnschichtanalyse

Messwerkzeuge auf Basis von Röntgenmethoden wie XRD, XRR und RFAbieten nachweislich schnellen, zerstörungsfreien, zuverlässigen und präzisen Zugriff auf kritische Dünnschichtparameter von ultradünnen Single-Layers bis hin zu komplexen Multi-Layer-Stapeln.

Weitere Informationen zu unseren Dünnschichtanalysegeräten finden Sie unten.

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  • Zetium

    Hochwertige Stand-WDXRF-Spektrometer

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    • Dünnschicht-Messtechnik

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  • Axios FAST

    Hochdurchsatz-Simultan-WDXRF-Spektrometer

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    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
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    • Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA)
  • 2830 ZT

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  • Epsilon 4

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    • Dünnschicht-Messtechnik

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    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
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  • X'Pert³ MRD

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

    X'Pert³ MRD

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    • Dünnschicht-Messtechnik

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    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
    • Röntgendiffraktometrie (XRD)
    • Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA)
  • X'Pert³ MRD XL

    Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

    X'Pert³ MRD XL

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    • Dünnschicht-Messtechnik

    Technologie

    • Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
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    • Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (EDRFA)