Die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA) ist ein Analyseverfahren, das zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung unterschiedlichster Probentypen eingesetzt werden kann. Hierzu gehören Feststoffe, Flüssigkeiten, Suspensionen und lose Pulver. Die Röntgenfluoreszenzanalyse wird auch zur Bestimmung der Zusammensetzung und Dicke von Schichten und Beschichtungen eingesetzt. Es können Elemente von Beryllium (Be) bis Uran (U) in Konzentrationsbereichen von 100 Gew.-% bis hin zu Sub-ppm analysiert werden.

Die RFA ist ein robustes Verfahren, das hohe Präzision und Genauigkeit mit einfacher, schneller Probenvorbereitung vereint. Für den Einsatz in Umgebungen mit hohem Durchsatz kann sie leicht automatisiert werden. Darüber hinaus liefert die RFA sowohl qualitative als auch quantitative Informationen zu einer Probe. Eine einfache Kombination aus den Informationen „was?‟ und „wie viel?‟ ermöglicht auch schnelle Screeninganalysen (semiquantitativ).

Die RFA ist eine Atom-Emissions-Methode, die in dieser Hinsicht der optischen Emissionsspektroskopie (OES), der Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) und der Neutronenaktivierungsanalyse (Gamma-Spektroskopie) ähnelt. Bei solchen Methoden werden die Wellenlänge und die Intensität von „Licht“ (in diesem Fall Röntgenstrahlen) gemessen, das von den angeregten Atomen in der Probe emittiert wird. Bei der RFA verursacht die Strahlung eines primären Röntgenstrahls aus einer Röntgenröhre die Emission von fluoreszierenden Röntgenstrahlen mit einzelnen, charakteristischen Energien für die verschiedenen Elemente in einer Probe.

Die Technologie für die Trennung (Dispersion), Identifizierung und Intensitätsbestimmung eines Röntgenfluoreszenzspektrums führt zu zwei Haupttypen von Spektrometern: wellenlängendispersive (WDRFA) und energiedispersive (EDRFA) Systeme.

Epsilon

Epsilon
Mehr Details
Messung Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Na-Am, C-Am
Auflösung (Mg-Ka) 145eV
LLD 1 ppm - 100%
Technologie Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

Mehr Details
Messung Elementaranalyse
Elementbereich Na-Am
Auflösung (Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
Probendurchsatz on-line
Technologie Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

Mehr Details
Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

Mehr Details
Messung Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz 240per 8h day - 480per 8h day
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Mehr Details
Messung Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 35eV
Probendurchsatz up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
Technologie Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Epsilon

Epsilon

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

Direkter Einblick in Ihren Produktionsprozess

Zetium

Zetium

Elementare Leistung

Axios FAST

Axios FAST

Hoher Probendurchsatz

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Mehr Details Mehr Details Mehr Details Mehr Details Mehr Details
Messung Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Elementaranalyse Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Quantifizierung von Elementkonzentrationen Chemische Identifikation, Dünnschicht-Messtechnik, Elementaranalyse, Detektion und Analyse von Kontaminationen, Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Elementbereich Na-Am, C-Am Na-Am Be-U Be-U Be-U
Auflösung (Mg-Ka) 145eV 135eV 35eV 35eV 35eV
LLD 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Probendurchsatz   on-line 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour
Technologie Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Zetium

Epsilon

Axios FAST

2830 ZT

Zetium Epsilon Axios FAST 2830 ZT

Elementare Leistung

Hoher Probendurchsatz

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Mehr Details Mehr Details Mehr Details Mehr Details
Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Elementaranalyse
Detektion und Analyse von Kontaminationen
Quantifizierung von Elementkonzentrationen
Chemische Identifikation
Technologie
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Elementbereich Be-U Na-Am, C-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Auflösung (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Probendurchsatz 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour