X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more

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X'Pert³シリーズ

強化されたX’Pertプラットフォーム

評価を得ているX'Pertプラットフォームが、Malvern PanalyticalのX'Pert³シリーズのX線回折システムでも採用されています。 新しい制御回路を搭載し、最新の最も厳格なX線基準と安全基準に準拠し、環境に配慮し高い信頼性を誇るX'Pert³プラットフォームが用意されています。

• 最長の耐用期間を誇るCRISPを搭載した入射光コンポーネント 
• エアー式シャッターとビームアッテネータによる最大稼働時間 
• 第2世代PreFIX技術により新しいアプリケーションに簡単に拡張 
• 迅速で信頼性が高く、ツール不要な管球フォーカスの変更
• インターネットに直接接続できる新しい制御回路
• 最も厳格な安全規制に準拠

X'Pert³ MRD

The X'Pert³ MRD systems offer advanced and innovative X-ray diffraction solutions from research to process development and process control.

Features include

  • Wafer max. diameter: 100 mm
  • SECS/GEM
  • Cleanroom ISO 4
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

An extra PreFIX mounting platform allows mounting of an X-ray mirror and a high-resolution monochromator in-line, increasing significantly the intensity of the incident beam.

Features include

  • Wafer max. diameter: 300 mm
  • SECS/GEM
  • Cleanroom ISO 4
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

多目的研究開発XRDシステム

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

薄膜単結晶解析X線回折装置

技術
XRD分析
測定タイプ
相同定
位相の定量化
薄膜測定
残留応力
界面粗さ
エピタキシー分析
配向分析
逆格子空間解析
Wafer max. diameter 100 mm 300 mm
SECS/GEM
Cleanroom ISO 4