マイクロ回折(X線マイクロ回折、マイクロX線回折、またはµXRD)分析では、非常に狭いビームを使用して、非常に狭い領域で高度に局在化したXRD測定を行います。 これを実現するには、放射されるX線を低減する専用の入射ビームコリメータを使用します。 モノキャピラリを使用すると、直径約50μmの入射X線ビームが得られます。 マイクロ回折技術は一般に、さまざまな組成、格子ひずみ、または選択配向の結晶を含む小サンプルまたは不均質サンプルに使用されています。
マイクロ回折は、組成に強い勾配のあるサンプル(汚染物質、含有物、 鉱物学的サンプル、法医学的サンプル、古代絵画の小断面、考古学的サンプル、冶金学的関心のある加工品、ツールインサート、パターンウェーハなど)の微小スポットの特性評価を含めて、多くの回折研究に適用できます。
マイクロ回折応用計測は、入射ビーム経路でペンシルビーム(モノキャピラリや二重交差スリットなど)を発生できるPreFIXモジュールと、サンプルをX線ビーム内に配置して視覚化する高倍率ビデオカメラを備えたEmpyreanプラットフォームで行うことができます。
当社のハイブリッドピクセル検出器を使用すれば、不均質サンプルの相組成を直接洞察する2D回折パターンを収集できます。
