蛍光X線分析装置(XRF)

蛍光X線

マルバーン・パナリティカルは、元素および薄膜解析用の多用途XRF分光計と関連商品を提供します。 これらの製品は、広範なオペレーション環境で幅広い解析に対応し、高いスループットを提供します。 エネルギー分散型ベンチトップXRFシステム から高パフォーマンス波長分散型XRFシステム、半導体測定用製品までの分光計シリーズを提供します。

これらの装置は特定の解析タイプに応じた専用のソフトウェアオプションで構成されています。 アプリケーションモジュール(アプリケーション構成、キャリブレーション、および標準試料)との組み合わせ、またはサンプル前処理装置を含むパッケージとした、完全な分析ソリューションです。 すべてのマルバーン・パナリティカルの製品は、当社のカスタマーサービス部門がサポートします。  

 当社のナレッジセンターでは、デバイスで実現できる多くのXRFアプリケーションの詳細を確認できます。

Zetium

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ハイエンド波長分散蛍光X線分析装置

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卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

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Epsilon 4

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Epsilon Xflow

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2830 ZT

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Axios FAST

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優れたサンプルスループット

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測定タイプ
薄膜測定
元素分析
汚染物質の検出と分析
元素定量
化合的同定
技術
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素範囲 Be-Am F-Am F-Am Na-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分解能(Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day