マルバーン・パナリティカルは、元素および薄膜解析用の多用途XRF分光計と関連商品を提供します。 これらの製品は、広範なオペレーション環境で幅広い解析に対応し、高いスループットを提供します。 エネルギー分散型ベンチトップXRFシステム から高パフォーマンス波長分散型XRFシステム、半導体測定用製品までの分光計シリーズを提供します。

これらの装置は特定の解析タイプに応じた専用のソフトウェアオプションで構成されています。 アプリケーションモジュール(アプリケーション構成、キャリブレーション、および標準試料)との組み合わせ、またはサンプル前処理装置を含むパッケージとした、完全な分析ソリューションです。 すべてのマルバーン・パナリティカルの製品は、当社のカスタマーサービス部門がサポートします。  

 当社のナレッジセンターでは、デバイスで実現できる多くのXRFアプリケーションの詳細を確認できます。

Zetium

Zetium

卓越した機能

詳細
測定 薄膜測定, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素範囲 Be-U
分解能(Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day
技術 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Axios FAST

Axios FAST

優れたサンプルスループット

詳細
測定 薄膜測定, Elemental analysis, Elemental quantification
元素範囲 Be-U
分解能(Mg-Ka) 35eV
LLD 0.1 ppm - 100%
サンプル処理 240per 8h day - 480per 8h day
技術 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

たった40×40cmのスペースで元素分析 小型・パワフルな卓上XRF

詳細
測定 Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素範囲 Na-Am
分解能(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
サンプル処理 40per 8h day - 80per 8h day
技術 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

生産プロセスの現場管理

詳細
測定 Elemental analysis, Contaminant detection and analysis
元素範囲 Na-Am
分解能(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
サンプル処理 on-line
技術 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

詳細
測定 化合的同定, 薄膜測定, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素範囲 Be-U
分解能(Mg-Ka) 35eV
サンプル処理 up to 25 wafers per hour
LLD 0.1 ppm - 100%
技術 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)

Epsilon 4

Epsilon 4

高速で正確なアットラインの元素分析

詳細
測定 Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素範囲 C-Am
分解能(Mg-Ka) 135eV
LLD 1 ppm - 100%
サンプル処理 80per 8h day - 160per 8h day
技術 Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Zetium

Zetium

卓越した機能

Axios FAST

Axios FAST

優れたサンプルスループット

卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

たった40×40cmのスペースで元素分析 小型・パワフルな卓上XRF

Epsilon Xflow

Epsilon Xflow

生産プロセスの現場管理

2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

Epsilon 4

Epsilon 4

高速で正確なアットラインの元素分析

詳細 詳細 詳細 詳細 詳細 詳細
測定 薄膜測定, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification 薄膜測定, Elemental analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis 化合的同定, 薄膜測定, Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification Elemental analysis, Contaminant detection and analysis, Elemental quantification
元素範囲 Be-U Be-U Na-Am Na-Am Be-U C-Am
分解能(Mg-Ka) 35eV 35eV 135eV 135eV 35eV 135eV
LLD 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100%
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 80per 8h day - 160per 8h day
技術 Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF), Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)

Zetium

卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1

Epsilon 4

Epsilon Xflow

2830 ZT

Axios FAST

Zetium 卓上蛍光X線分析装置 イプシロン1 Epsilon 4 Epsilon Xflow 2830 ZT Axios FAST

卓越した機能

たった40×40cmのスペースで元素分析 小型・パワフルな卓上XRF

高速で正確なアットラインの元素分析

生産プロセスの現場管理

先進の半導体薄膜測定ソリューション

優れたサンプルスループット

詳細 詳細 詳細 詳細 詳細 詳細
測定タイプ
薄膜測定
Elemental analysis
Contaminant detection and analysis
Elemental quantification
化合的同定
技術
X-ray Fluorescence (XRF)
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素範囲 Be-U Na-Am C-Am Na-Am Be-U Be-U
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分解能(Mg-Ka) 35eV 135eV 135eV 135eV 35eV 35eV
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day 40per 8h day - 80per 8h day 80per 8h day - 160per 8h day on-line up to 25 wafers per hour 240per 8h day - 480per 8h day