元素定量

XRFとPFTNAを使用した元素濃度の定量

元素定量

多くのアプリケーションにおいて、元素濃度を把握することは、材料特性の管理や、健康規制や安全規制への準拠の保証に重要な要素です。 このため、多くの場合、単に元素の存在を検出するだけでは不十分で、それらの濃度を定量化する必要もあります。 

必要な精度は、アプリケーションに応じて異なります。

定量化手法

蛍光X線分析装置 と パルス高速熱中性子活性化 は、非破壊的で安定した簡単に使用できる分析技術で、広範なアプリケーションにおいてさまざまな材料の元素組成を決定できます。 元素濃度をこれらの技術で定量化するには、測定強度を認定されたリファレンス材料の強度、または既知の濃度を使用した社内標準試料の強度と比較します。 これらの標準試料は、正確な結果を得るために可能な限り、サンプル材料に似ている必要があります。 測定強度は、サンプルの物理的特性による影響も受けるため、ユーザーのソフトウェアによって対応できるさまざまな補正を適用することが必要な場合がよくあります。

標準レスなソフトウェア

多くの業界では、未知の組成のサンプル材料を、専用の標準試料なしですばやくスクリーニングする必要があります。 

このような場合、Omnianなど、標準試料なしの解析ソフトウェアは、全体的な元素組成を決定し、元素濃度の半定量的な値を提供します。

当社の製品の比較

  • Zetium

    高性能床置き型 WDXRF 分光計

    Zetium

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    • Be-Am

    最小検出下限

    • 0.1 ppm - 100%

    分解能(Mg-Ka)

    • 35eV

    サンプル処理

    • Up to - 240per 8h day
  • 高性能卓上XRF分析装置 Epsilonシリーズ

    卓上およびオンラインEDXRF分光計

    高性能卓上XRF分析装置 Epsilonシリーズ

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    • F-Am

    最小検出下限

    • 1 ppm - 100%

    分解能(Mg-Ka)

    • 145eV

    サンプル処理

    • Up to - 160per 8h day
  • Axios FAST

    高スループット同時 WDXRF 分光計

    Axios FAST

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    • B-Am

    最小検出下限

    • 0.1 ppm - 100%

    分解能(Mg-Ka)

    • 35eV

    サンプル処理

    • Up to 480
  • 2830 ZT

    先進の半導体薄膜測定ソリューション

    2830 ZT

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    • B-Am

    最小検出下限

    • 0.1 ppm - 100%

    分解能(Mg-Ka)

    • 35eV

    サンプル処理

    • up to 25 wafers per hour
  • CNA製品

    オンラインクロスベルト元素分析装置

    CNA製品

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    最小検出下限

    分解能(Mg-Ka)

    サンプル処理

  • SciAps Zシリーズ

    極めて低濃度の元素を高度に分析

    SciAps Zシリーズ

    測定タイプ

    • 薄膜測定
    • 汚染物質の検出と分析
    • 化合的同定

    技術

    • XRF分析
    • 波長分散型蛍光X線
    • エネルギー分散型X線分析
    • パルス高速熱中性子活性化

    元素範囲

    最小検出下限

    分解能(Mg-Ka)

    サンプル処理