X線計測

薄膜フィルム計測によるフィルム品質の向上

XRD 、XRR、XRFのようなX線方式に基づく薄膜フィルム計測ツールは、迅速で非破壊的な計測方法です。 これらのツールは、薄膜層、ヘテロ構造、および超格子システムの重要物質パラメータをナノメートルスケールに至るまで実施する現場外調査に力を発揮することが証明されています。 その結果得られる情報は、層品質を最適化し、生産効率を上げ、コストを削減する上で非常に有用です。 Malvern Panalyticalは、層構造機器、マイクロベース機器、光電子機器の開発と生産制御のための計測ソリューションを提供します。

2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

多目的研究開発XRDシステム

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

薄膜単結晶解析X線回折装置

技術
波長分散型蛍光X線
測定タイプ
薄膜測定
化合的同定
元素分析
汚染物質の検出と分析
元素定量