XRF - 蛍光X線

構成される元素を同定し、含有量を分析する技術

XRF(蛍光X線)技術の概要

蛍光X線(XRF)は、測定サンプルにX線を照射して発生する固有の蛍光X線(波長:λやエネルギー:KeV)を測定することで構成されている元素を同定(組成分析)し、その構成される元素の含有量を分析(定量分析)可能な分析技術です。

分析可能なサンプル形態は、固体、粉末、液体、スラリー、フィルムなどほぼ全ての形態を前処理なし(非破壊)に測定可能で、測定元素範囲もベリリウム(Be)からアメリシウム(Am)と広範囲で、定量分析(含有量分析)もppmレベルから100%です。

XRF(蛍光X線)の主な用途

蛍光X線(XRF)技術の特長として、サンプルの前処理が不要なこと以外に、人為的な誤差がなく、装置も長期に安定していることから、あらゆる業界(石油、石油化学、鉱業、地質学、セメント、ガラス、食品や医薬品など)のお客様の工程管理や品質管理に使用されています。

また、蛍光X線(XRF)は非常に成熟した分析手法ですので、国際的な試験法(ASTM、ISO、EPA、JIS、ICH-Q3D、UPSなど)に準拠可能です。最近では蛍光X線(XRF)分析装置の測定迅速性から、スクリーニングツールとして、研究開発やRoHS/RoHSⅡ/ELV指令対応のための受け入れや出荷検査などにも応用されています。

XRF(蛍光X線)分析で得られるスペクトル例

EDXRFで測定したニッケル鉱石のスペクトルを示します。分かりやすいピークプロファイルが測定されました。ピークの位置をもとに試料中に構成する元素を同定し、ピークの強度でその濃度を決定します。

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EDXRF Epsilon4(イプシロン4)で測定したニッケル鉱石のスペクトル


コンパクトで高感度に測定できるED-XRFはこちら 



XRF(蛍光X線)分析装置の動作原理

XRF装置の基本的な構成要素は励起源、サンプル、および検出器です。励起源は、試料サンプルにX線を照射し、検出器からのX線を測定します。

励起源には一般的にX線管球が使用されます。装置は、エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDXRF)波長分散型蛍光X線分析装置(WDXRF)の2 種類に分けられます。2 つのシステムの違いは、検出方法の違いにあります。

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EDXRF(左)およびWDXRF(右)装置の基本構成


マルバーン・パナリティカルのXRF(蛍光X線)


XRF(蛍光X線)の測定事例【アプリケーションノート】

マルバーン・パナリティカルのXRF(蛍光X線)分析装置による測定事例をご紹介します。リンクをクリックして、資料をダウンロードしてご覧ください。

* Axios mAX(アクシオス・マックス)は販売終了しました。WDXRFをお探しのお客様は、Zetium(ゼティウム)をご覧ください。

XRF(蛍光X線)主要分析装置一覧 

マルバーン・パナリティカルが提供するXRF(蛍光X線)分析装置は以下の通りです。

WDXRF:波長分散型

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Zetium(ゼティウム) 2.4KW, 3KW, 4KW

  • オールインワン設計・波長分散型XRF
  • 高感度・高分解能モデル
  • 波長分散機能以外にEDXRFやXRD、マッピング機能選択可能
  • AIを使用した分析条件作成サポート
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Zetium(ゼティウム) 1KW

  • 外部冷却水装置不要・波長分散型XRF 
  • 1KW・RhターゲットX線管球付属 
  • 2.4KW,3KWへバージョンアップ可能 
  • AIを使用した分析条件作成サポート 

EDXRF:エネルギー分散型

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Epsilon4(イプシロン4)

  • 高感度エネルギー分散型XRF 
  • 高感度SDD搭載 
  • C-AmとF-Amの2機種から選択 
  • 真空雰囲気下に向かないサンプルも測定可能 
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Epsilon1(イプシロン1)

  • コンパトエネルギー分散型XRF 
  • PC内蔵でオールインワン設計 
  • 1サンプルあたり100円未満の分析コスト 
  • 現場に持ち込むなど高いモバイル性 
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Epsilon1(イプシロン1) スモールスポット

  • RoHS/RoHSⅡ/ELV分析用エネルギー分散型XRF 
  • 1mmφの空間分解能で微小分析可能 
  • CCDカメラ搭載、測定サンプル観察可能 
  • ファンダメンタルパラメータ法標準搭載 

サンプルプレパレーション

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試料調製各種(Claisse他)

  • ガラスビード作製機 
  • ICP用アルカリ分解溶融装置 
  • プレスマシン(半自動プレス/手動プレス) 
  • 試料粉砕機
Zetium

Zetium

ハイエンド波長分散蛍光X線分析装置

詳細
高性能卓上XRF分析装置 Epsilonシリーズ

高性能卓上XRF分析装置 Epsilonシリーズ

次世代を見据えた「元素分析の新時代」を切り開く、高機能・高感度の卓上型エネルギー分散型蛍光X線(EDXRF)装置です。

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Axios FAST

Axios FAST

優れたサンプルスループット

詳細
2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

詳細
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測定タイプ
薄膜測定
元素分析
汚染物質の検出と分析
元素定量
化合的同定
技術
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
元素範囲 Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
分解能(Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
サンプル処理 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour