Рентгенофлуоресцентная спектрометрия (XRF) представляет собой метод анализа химического состава широкого диапазона образцов, в том числе твердых и жидких веществ, суспензий и сыпучих порошков. Рентгенофлуоресцентная спектрометрия (XRF) также применяется для определения толщины и состава слоев и покрытий. Возможен анализ элементов от бериллия (Be) до урана (U) в концентрациях от 100% по массе до очень низких концентраций.

Рентгенофлуоресцентная спектрометрия - это надежный метод, который сочетает высокую точность и достоверность результатов с простой и быстрой процедурой подготовки образцов. Ее можно легко автоматизировать для использования в высокопроизводительных промышленных системах; кроме того, XRF позволяет получать одновременно качественную и количественную информацию об образце. Простое сочетание ответов на вопросы «что?» и «сколько?» позволяет проводить быстрый классификационный (полуколичественный) анализ.

Рентгенофлуоресцентная спектрометрия представляет собой метод атомной эмиссии, который аналогичен оптикоэмиссионной спектрометрии (OES), спектроскопии с индуктивно связанной плазмой (ICP) и методу импульсной быстрой активации тепловыми нейтронами (гамма-спектроскопия). В таких методах выполняется измерение длины волны и интенсивности «излучения» (в данном случае рентгеновских лучей), испускаемого возбужденными атомами образца. В рентгенофлуоресцентной спектрометрии облучение первичным рентгеновским лучом из рентгеновской трубки вызывает излучение флуоресцентных рентгеновских лучей с дискретными энергиями, характерными для элементов, присутствующих в образце.

Технология, используемая для разделения (дисперсии), идентификации и измерения интенсивности спектра рентгеновской флуоресценции образца, позволяет выделять два основных типа спектрометров: дисперсионные системы обнаружения по длинам волн (WDXRF) и энергодисперсионные (EDXRF) системы.