Рентгеновская дифракция высокого разрешения (HRXRD) – это набор прикладных методов для неразрушающего анализа преимущественно многослойных, почти совершенных кристаллических структур. Структурные параметры, которые могут быть выявлены и количественно оценены, необходимы для успешного применения таких материалов.

Многослойные структуры полупроводников

Большинство современных структур полупроводниковых устройств получены в результате газофазной эпитаксии на подложке из кремния, кремния и германия, соединений III-V и II-VI. Это почти совершенные кристаллические пленки с относительно низкой плотностью дислокации.

Свойства пленки в значительной степени зависят от их состава и структурных параметров. Такие данные, как толщина слоя, состав, деформация, релаксация и структурное качество, получают путем измерения кривых качания и карт обратного пространства с помощью рентгеновской оптики с высоким разрешением. Пространственные распределения дефектов могут быть визуализированы с помощью методов, использующих рентгеновскую дифракцию, например рентгеновской топографии.

Решения рентгеновской дифракции высокого разрешения

Эксперименты по рентгеновской дифракции высокого разрешения на эпитаксиальных слоях, неоднородных структурах и системах со сверхрешеткой требуют наличия высокомонохроматического рентгеновского пучка с четко заданным диапазоном длины волны и низким угловым отклонением.

Системы X'Pert³ MRD (XL) и Empyrean компании Malvern Panalytical отвечают требованиям HRXRD. Существует широкий выбор гибридных монохроматоров и монохроматоров высокого разрешения, разработанных для конкретных требований различных материалов к разрешению. Уникальный метод монтажа PreFIX позволяет быстро и просто изменять конфигурацию без необходимости в повторной юстировке.

Программное обеспечение Epitaxy и Smoothfit позволяет операторам, а также опытным пользователям анализировать кривые качания, карты обратного пространства и карты полупроводниковых пластин. Кривые качания могут быть смоделированы и установлены с помощью запатентованных алгоритмов.

Empyrean

Empyrean

Интеллектуальный дифрактометр

Подробнее
Измерение Crystal structure determination, Идентификация фаз, Phase quantification, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, Анализ текстур, 3D structure / imaging, Reciprocal space analysis
Конфигурация гониометра Vertical goniometer, Θ-Θ
Диапазон размеров частиц 1 - 100 nm
Технология X-ray Diffraction (XRD)

Empyrean

Empyrean

Интеллектуальный дифрактометр

Подробнее
Измерение Crystal structure determination, Идентификация фаз, Phase quantification, Contaminant detection and analysis, Residual stress, Epitaxy analysis, Interface roughness, Анализ текстур, 3D structure / imaging, Reciprocal space analysis
Конфигурация гониометра Vertical goniometer, Θ-Θ
Диапазон размеров частиц 1 - 100 nm
Технология X-ray Diffraction (XRD)