Рентгеновская флуоресценция (XRF)

Рентгенофлуоресцентная (XRF) спектроскопия и области применения XRF

Что представляет собой рентгеновская флуоресценция?

Рентгенофлуоресцентный (XRF) метод представляет собой метод анализа химического состава широкого диапазона образцов, в том числе твердых и жидких веществ, суспензий и сыпучих порошков. Рентгенофлуоресцентный (XRF) метод также применяется для определения толщины и состава слоев и покрытий. Возможен анализ элементов от бериллия (Be) до урана (U) в концентрациях от 100% по массе до очень низких концентраций.

Каковы преимущества рентгенофлуоресцентного анализа?

Рентгенофлуоресцентный анализ — это надежный метод, который сочетает высокую точность и достоверность результатов с простой и быстрой процедурой подготовки образцов. Ее можно легко автоматизировать для использования в высокопроизводительных промышленных системах; кроме того, XRF позволяет получать одновременно качественную и количественную информацию об образце. Простое сочетание ответов на вопросы «что?» и «сколько?» позволяет проводить быстрый классификационный (полуколичественный) анализ.

Принципы рентгеновской флуоресценции

Рентгенофлуоресцентная спектрометрия представляет собой метод атомной эмиссии, который аналогичен оптикоэмиссионной спектрометрии (OES), спектроскопии с индуктивно связанной плазмой (ICP) и методу импульсной быстрой активации тепловыми нейтронами (гамма-спектроскопия). В таких методах выполняется измерение длины волны и интенсивности «излучения» (в данном случае рентгеновских лучей), испускаемого возбужденными атомами образца. В рентгенофлуоресцентной спектрометрии облучение первичным рентгеновским лучом из рентгеновской трубки вызывает излучение флуоресцентных рентгеновских лучей с дискретными энергиями, характерными для элементов, присутствующих в образце. 

Определение элементного состава

Технология, используемая для разделения (дисперсии), идентификации и измерения интенсивности спектра рентгеновской флуоресценции образца, позволяет выделять два основных типа спектрометров: дисперсионные системы обнаружения по длинам волн (WDXRF) и энергодисперсионные (EDXRF) системы.

Рентгенофлуоресцентные анализаторы

Мы предлагаем множество решений, основанных на рентгеновской флуоресценции, для анализа элементного состава различных материалов для широкого спектра задач, включая дисперсионные системы обнаружения по длинам волн и энергодисперсионные системы. Ознакомьтесь с нашими решениями в таблице ниже:

Zetium

Zetium

Элементное превосходство

Подробнее
Серия Epsilon

Серия Epsilon

Быстрый и точный элементный анализ рядом с производственной линией и в режиме реального времени

Подробнее
Axios FAST

Axios FAST

Высокая производительность

Подробнее
2830 ZT

2830 ZT

Передовое решение для анализа тонких пленок полупроводников

Подробнее
Подробнее Подробнее Подробнее Подробнее
Анализируемые свойства
Исследования тонких пленок
Элементный анализ
Обнаружение и анализ загрязнителей
Элементный количественный анализ
Химический состав
Технология
Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
Диапазон элементов Be-Am F-Am B-Am B-Am
LLD 0.1 ppm - 100% 1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100% 0.1 ppm - 100%
Разрешение (Mg-Ka) 35eV 145eV 35eV 35eV
Скорость обработки образца 160per 8h day - 240per 8h day Up to - 160per 8h day 240per 8h day - 480per 8h day up to 25 wafers per hour